1분 요약 (Executive Summary)
- 주제 안내 — 이 글은 Parylene 코팅 견적과 사양서에 자주 나오는 용어 30개를 정의합니다. 발주 과정에서 뜻이 어긋나기 쉬운 여섯 용어를 수치와 도면 표기로 바꿔 적는 방법도 함께 다룹니다.
- 용어 확인이 먼저인 이유 — 용어가 두 가지로 읽히면, 그 해석을 부품의 용도를 모르는 코팅 업체에 맡기게 됩니다. Parylene 막은 일부만 골라 벗겨 내기 어려워, 코팅 뒤에 뜻을 바로잡으려면 재작업이나 부품 폐기로 이어집니다.
- 네 묶음 — 30개 용어는 원료·공정 8개, 진공·설비 7개, 막·물성 8개, 전처리·검사 7개로 나뉩니다. 묶음마다 주의할 점이 다릅니다. 원료·공정은 온도가 자료마다 다르고, 진공·설비는 공정 압력이 상대값입니다. 막·물성은 조건이 붙어야 값이 되고, 전처리·검사는 작업자와 배치에 따라 결과가 달라집니다.
- 규격이 정하는 정의 — 컨포멀 코팅 분류는 IPC-CC-830C가, 밀착 등급 척도는 ASTM D3359-23이 정하지만[1, 2], 부품의 합격선은 두 규격 모두 정하지 않습니다.
- 용어가 아닌 뜻의 문제 — 두께, 전면 코팅, 마스킹, 밀착력, 파릴렌, 방수는 발주자와 코팅 업체가 서로 다른 뜻으로 읽기 쉬운 여섯 용어입니다. 뜻을 잘못 읽으면 재작업이 생기는 용어만 골랐습니다.
- 숫자·도면으로 바꿔 적기 — 여섯 용어에 측정 위치, 경계 공차, 시험 규격, 그레이드, 노출 조건을 붙이면 뜻이 하나로 정해집니다. 예를 들어 "두께 10 µm"는 "도면 A부에서 10 µm 이상"으로 적습니다.
코팅 견적을 주고받다 보면 같은 용어를 서로 다르게 이해하는 일이 생깁니다. "두께 10 µm"라는 한 줄을 예로 들어 보겠습니다. 목표값인지 최소 보증값인지, 부품의 어느 지점에서 측정한 값인지가 정해져 있지 않습니다. 용어를 몰라서가 아니라, 한 용어에 두 가지 이상의 뜻이 담겨 있어서 생기는 문제입니다.
Parylene(파릴렌) 코팅을 처음 발주하거나 사양서를 검토하는 개발·품질·구매 담당자를 위해, 용어를 먼저 맞춰야 하는 이유부터 네 묶음의 용어 30개, 뜻이 자주 어긋나는 여섯 용어와 바꿔 적는 방법, 이 사전으로 정해지지 않는 것까지 차례로 정리합니다. 규격에 정의가 있는 용어는 규격의 정의를 따랐습니다(컨포멀 코팅 분류는 IPC-CC-830C, 밀착 등급 척도는 ASTM D3359-23). 한글 표기가 여러 가지인 이유는 Parylene 한글 표기 정리에 정리했습니다.
코팅 용어를 맞추는 일이 왜 발주보다 먼저인가?
용어를 맞추지 않으면 그 해석을 발주자가 아니라 코팅 업체에 맡기게 되기 때문입니다.
한 용어가 두 가지로 읽히면, 어느 쪽으로 해석할지는 일을 받는 쪽이 정합니다. 코팅 업체는 그 부품이 어디에 쓰이고 어떤 환경을 견뎌야 하는지 발주자만큼 알지 못합니다. 빈칸이었다면 눈에 띄어 바로 되물었겠지만, 이미 채워져 있는 용어는 되묻지 않고 넘어가기 쉽습니다.
문제는 Parylene이 되돌리기 어려운 공정이라는 점입니다. 막이 표면 전체에 고르게 밀착되어, 원하지 않는 부위만 골라 벗겨 내기 힘듭니다. 코팅이 끝난 뒤에야 양쪽이 이해한 뜻이 달랐다는 것을 알게 되면, 그 부품은 재작업하거나 폐기하게 됩니다.
용어 정리는 서류 작업이 아니라 비용 관리입니다. 발주 단계에서 확인하면 메일 한 통으로 끝나지만, 코팅이 끝난 뒤에 바로잡으면 부품값까지 손실이 됩니다. Parylene 발주에서 용어 확인을 코팅 전에 끝내는 이유입니다.
이 글의 용어 30개는 네 묶음으로 나뉘고, 접수 단계에서 다시 묻는 용어는 여섯입니다. 아래 도식에 전체를 정리했습니다.
원료와 공정을 가리키는 용어는 무엇인가?
다이머, 단량체, Gorham 공정, 승화, 열분해, 증착, CVD, 상온 증착 여덟 개입니다. 공정은 3단계로 진행됩니다. 고체 원료를 기체로 바꾸고, 그 기체를 끊어 반응성 단량체로 만든 뒤, 부품 표면에서 고분자 막을 형성합니다.
여덟 용어의 관계는 다음과 같습니다. 다이머와 단량체는 이 3단계를 거치는 물질이고, 승화·열분해·증착은 각 단계의 이름입니다. Gorham 공정은 Parylene 고유의 방법 이름이고, CVD(화학 기상 증착)는 그 방법이 속하는 더 넓은 분류입니다.
상온 증착은 조건의 이름입니다. 승화와 열분해에는 가열이 필요하지만, 증착 단계에서는 부품을 가열하지 않습니다. 열에 약한 부품도 코팅할 수 있는 것은 이 조건 덕분입니다. 각 용어의 정의는 표 1에 정리했습니다.
| 용어 | 한 줄 정의 |
|---|---|
| 다이머(Dimer) | Parylene의 고체 원료인 흰색 분말입니다. 챔버에 넣는 양이 막 두께를 정하는 주된 변수입니다 |
| 단량체(Monomer) | 다이머를 열로 끊어 만든 반응성 분자로, 모노머라고도 부릅니다. 상온 표면에 응축하면서 자발적으로 중합합니다[3] |
| Gorham 공정 | 다이머를 거의 전부 단량체로 끊은 뒤, 단량체가 표면에서 자발적으로 중합하게 하는 방법입니다. Gorham이 1966년에 발표했습니다[3] |
| 승화(Sublimation) | 다이머 분말을 가열해 기체로 바꾸는 첫 단계입니다 |
| 열분해(Pyrolysis) | 다이머 기체를 끊어 단량체로 만드는 두 번째 단계입니다. Gorham 원논문의 조건은 600 °C입니다[3] |
| 증착(Deposition) | 단량체가 부품 표면에 응축하며 중합해 막이 되는 세 번째 단계입니다 |
| CVD(화학 기상 증착) | 기체 상태 원료가 표면에서 반응해 고체막을 만드는 방식입니다. 액상 단계를 거치지 않습니다 |
| 상온 증착 | 부품을 가열하지 않고 막을 형성하는 조건입니다. Parylene은 상온에서 CVD로 증착됩니다[5] |
주의할 점은 온도가 자료마다 다르다는 것입니다. Gorham 원논문은 열분해 조건을 600 °C로 보고했지만[3], 장비 운전 자료의 설정값은 Parylene N 650 °C, C 690 °C입니다[8]. 승화 온도도 장비와 자료마다 다릅니다.
Parylene 종류와 장비가 다르면 값도 다르므로, 온도를 인용할 때는 어느 자료의 값인지 함께 적습니다. 증착 3단계의 온도와 압력은 Parylene CVD 증착 공정 3단계에 정리했습니다. 3단계는 모두 진공 안에서 진행되며, 다음 묶음이 그 진공과 설비를 가리키는 용어입니다.
진공과 설비를 가리키는 용어는 무엇인가?
도달 진공, 공정 압력, 중진공, 누설, 챔버, 지그, 배치 일곱 개입니다. Parylene 증착은 초고진공이 아니라 중진공 공정입니다. 장비 설명서에 따르면 증착 구간은 1–1×10⁻³ Torr입니다[7]. 일곱 용어 가운데 앞의 넷은 진공 상태를, 뒤의 셋은 부품이 놓이는 공간과 작업 단위를 가리킵니다. 정의는 표 2에 정리했습니다.
| 용어 | 한 줄 정의 |
|---|---|
| 도달 진공(Base pressure) | 설비가 낼 수 있는 최저 압력입니다. 장비마다 다르고 시간이 지나면서도 달라집니다[7] |
| 공정 압력(Coating pressure) | 증착 중에 유지하는 압력입니다. 절대값이 아니라 도달 진공에 일정 값을 더해 설정합니다[7] |
| 중진공(Medium vacuum) | 1–1×10⁻³ Torr 구간입니다. Parylene 증착은 이 구간에서 이루어집니다[7] |
| 누설(Leak) | 챔버 밖 공기가 안으로 새어 드는 현상입니다. 작은 누설은 도달 진공에 이르는 시간을 늘리고, 큰 누설은 막 품질을 떨어뜨립니다[7] |
| 챔버(Chamber) | 증착이 일어나는 진공 용기입니다. (주)와인은 60L · 300L · 1100L 세 가지를 운영합니다[9] |
| 지그·치구(Fixture) | 부품을 챔버 안에 고정해 두는 도구입니다. 지그가 닿은 접촉점에는 막이 생기지 않습니다 |
| 배치(Batch) | 한 번의 증착 사이클에 함께 넣는 부품 묶음입니다. Parylene은 부품 단위가 아니라 배치 단위 공정입니다 |
위 표의 챔버 용량은 (주)와인 자사 운영 기준(2026년 8월)이며, 규격이 정한 값이 아닙니다.
주의할 점은 공정 압력 숫자를 다른 설비로 옮겨 적을 수 없다는 것입니다. 장비 설명서에 따르면 공정 압력은 도달 진공보다 몇 단위 높게 설정하고, 펌프 오일이 오염돼 도달 진공이 올라가면 공정 압력도 그만큼 올려 보정합니다[7]. 도달 진공은 장비마다 다르고 시간이 지나면서도 달라지므로, 같은 공정 압력 숫자도 설비가 바뀌면 다른 상태를 뜻합니다.
발주자가 적을 것은 압력이 아니라, 지그가 닿아도 되는 부위입니다. 지그 접촉점에는 막이 생기지 않으므로, 기능면이 아닌 곳을 도면에 지정해 두면 지그 위치를 정하기 쉽습니다.
막과 물성을 가리키는 용어는 무엇인가?
컨포멀 코팅, Type XY, 핀홀 프리, 도달성, 두께 편차, 두께 공차, WVTR, Tg 여덟 개입니다. 앞의 두 묶음이 공정을 가리켰다면, 이 묶음은 공정이 끝난 뒤 남은 막을 가리킵니다. 여덟 용어는 둘씩 짝을 이룹니다.
- 분류 이름 — 컨포멀 코팅, Type XY
- 막이 덮인 상태 — 핀홀 프리, 도달성
- 두께의 흩어짐과 허용 범위 — 두께 편차, 두께 공차
- 물성값 — WVTR, Tg
이 묶음의 용어는 대부분 조건이 붙어야 값이 됩니다. WVTR은 온도와 습도를, 두께는 측정 위치를 함께 적어야 비교할 수 있으므로, 조건 없이 적은 숫자는 근거가 되지 못합니다. 정의는 표 3에 정리했습니다.
| 용어 | 한 줄 정의 |
|---|---|
| 컨포멀 코팅 | 조립체 표면을 얇은 절연막으로 덮어 수분·오염·화학물질에서 보호하는 코팅입니다[1] |
| Type XY | IPC-CC-830C가 파라자일릴렌 계열에 매긴 분류 기호입니다. 목표 두께가 12.5 µm 이하면 Type UT가 됩니다[1] |
| 핀홀 프리(Pinhole-free) | 막에 관통 구멍이 사실상 없는 상태입니다. 두께가 충분할 때 해당하는 말로, 0.6 µm 이하의 얇은 막에서는 핀홀이 관찰됐습니다[6] |
| 도달성(Throwing power) | 좁은 틈과 부품 내면까지 막이 닿는 정도입니다 |
| 두께 편차 | 한 부품의 모서리와 평면 사이, 또는 같은 배치 안에서 놓인 위치에 따라 생기는 두께 차이입니다 |
| 두께 공차 | 사양이 허용하는 두께 범위입니다. 공정의 두께 편차보다 좁게 정하면 맞출 수 없습니다 |
| WVTR(수증기 투과율) | 막을 지나가는 수증기의 양입니다. 온도·습도와 두께, 측정 방법이 붙어야 비교할 수 있고, 같은 재료라도 자료마다 값이 다릅니다[5] |
| Tg(유리전이온도) | 고분자가 단단한 상태에서 물러지기 시작하는 온도입니다. 사용 온도 한계가 아니며, 그 한계는 연속 사용 온도로 따로 봅니다 |
주의할 점은 Type XY가 두께에 따라 바뀐다는 것입니다. IPC-CC-830C는 컨포멀 코팅을 일곱 종으로 나누고, 그중 파라자일릴렌 계열이 XY입니다[1]. 목표 두께가 12.5 µm 이하면 조성과 관계없이 Type UT로 분류되므로[1], 같은 막도 두께에 따라 다른 기호를 받습니다.
사양서에 "Type XY"와 "두께 5 µm"를 함께 적으면 규격상 서로 맞지 않는 지시가 됩니다. 두께를 먼저 정하고, 기호는 그 뒤에 적습니다.
전처리와 마스킹, 검사를 가리키는 용어는 무엇인가?
세정, 활성화, A-174 실란, 프라이머, 크로스컷 시험, 마스킹, 비코팅 영역 일곱 개입니다. 앞의 세 묶음이 공정과 막을 가리켰다면, 이 묶음은 코팅 전후에 작업자가 하는 일을 가리킵니다.
일곱 용어는 세 갈래로 나뉩니다. 세정, 활성화, A-174 실란, 프라이머 넷은 코팅 전에 표면을 준비하는 전처리입니다. 마스킹과 비코팅 영역은 코팅에서 뺄 곳을 정하는 일이고, 크로스컷 시험은 코팅 뒤 밀착을 확인하는 검사입니다.
이 묶음은 배치와 작업자가 바뀌면 결과도 달라져, 문서로 적어 두지 않으면 같은 결과가 반복되지 않습니다. 다음 절에서 다시 묻는 여섯 용어 가운데 마스킹과 밀착력이 이 묶음과 이어집니다. 정의는 표 4에 정리했습니다.
| 용어 | 한 줄 정의 |
|---|---|
| 세정(Cleaning) | 코팅 전에 표면 오염을 씻어 내는 단계입니다. 오염층 위에 형성된 막은 오염층째 떨어집니다 |
| 활성화(Activation) | 실란이 결합할 자리를 만들고 세정 뒤 남은 얇은 유기 오염을 제거하는 처리입니다. 물이 잘 퍼지게 하는 것 자체가 목표는 아니며, 처리 효과는 시간이 지나면 줄어듭니다 |
| A-174 실란 | 감마-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란입니다. 기재와 막 사이를 잇는 커플링제로 씁니다[4, 5] |
| 프라이머(Primer) | 밀착을 돕기 위해 기재에 먼저 얇게 올리는 층입니다. Parylene에서는 대개 A-174 실란을 가리킵니다 |
| 크로스컷 시험 | 격자로 칼집을 낸 뒤 테이프를 떼어 밀착을 0–5 등급으로 평가하는 시험입니다[2] |
| 마스킹(Masking) | 코팅하면 안 되는 부위를 미리 가려 두는 작업입니다. 테이프·부팅·젤을 형상에 맞춰 씁니다 |
| 비코팅 영역 | 코팅에서 빼기로 정한 면입니다. 도면에 경계선과 허용 공차로 적어야 지시가 됩니다 |
위 표에서 참고자료 번호가 없는 정의는 (주)와인 자사 운영 기준(2026년 8월)이며, 규격이 정한 내용이 아닙니다.
주의할 점은 크로스컷 등급이 밀착 강도를 나타내지 않는다는 것입니다. ASTM D3359-23은 밀착을 0–5 등급으로 평가하는 방법만 정하고, 합격 등급은 정하지 않습니다. 이 시험이 큰 차이가 아니면 감지하지 못한다는 점도 규격에 명시되어 있습니다[2]. 5B는 "붙어 있다"는 상태이지, "얼마나 세게 붙었는가"를 나타내는 값이 아닙니다.
발주서에 "밀착력 양호"라고만 적으면 어느 시험의 몇 등급인지 알 수 없으므로, 시험 규격과 요구 등급을 함께 적습니다. 시험 조건과 격자 수는 ASTM D3359 크로스컷 시험에 정리했습니다.
발주서에서 뜻이 가장 자주 어긋나는 용어는 무엇인가?
두께, 전면 코팅, 마스킹, 밀착력, 파릴렌, 방수 여섯 개입니다. (주)와인은 이 여섯이 조건 없이 적혀 있으면 공정을 시작하지 않고 되묻습니다[9].
고른 기준은 단순합니다. 뜻을 잘못 읽었을 때 재작업이 생기는 용어만 넣었습니다. 여섯 가운데 다섯은 앞의 네 묶음과 이어집니다. 마스킹은 30개 용어에 그대로 있고, 두께는 두께 편차·두께 공차, 전면 코팅은 비코팅 영역, 밀착력은 크로스컷 시험, 파릴렌은 그레이드를 정하는 다이머와 짝을 이룹니다. 방수만 네 묶음 어디와도 이어지지 않는데, 코팅 용어가 아니라 요구 성능을 적은 말이어서 어떤 조건에서의 성능인지가 처음부터 비어 있기 때문입니다.
| 용어 | 두 가지로 읽히는 뜻 | 바꿔 적는 방법 |
|---|---|---|
| 두께 | 목표값인가 최소 보증값인가, 어느 지점의 값인가 | 측정 위치와, 목표값인지 최소값인지를 함께 적습니다 |
| 전면 코팅 | 비코팅 영역이 없다는 확정인가, 아직 정하지 않았다는 뜻인가 | 비코팅 영역 없음을 도면에 적어 확정합니다 |
| 마스킹 | 마스킹 재료 지정인가, 경계 지정인가 | 경계선과 허용 공차를 먼저 적습니다 |
| 밀착력 | 시험 등급인가, 밀착 강도인가 | 시험 규격과 요구 등급을 함께 적습니다 |
| 파릴렌 | N·C·D·VT4 등 어느 그레이드인가 | 그레이드를 지정하거나 사용 환경을 알려 줍니다 |
| 방수 | 침수를 막으라는 뜻인가, 습기를 늦추라는 뜻인가 | 노출 조건을 온도·습도·시간으로 적습니다 |
위 내용은 (주)와인 자사 운영 기준(2026년 8월)이며, 규격이 정한 절차가 아닙니다.
해법은 용어를 지우는 것이 아니라, 조건을 붙여 바꿔 적는 것입니다. 아래는 바꿔 적은 예입니다. 수치는 표기 방식을 보이기 위한 예시이고, 실제 값은 부품의 요구 조건에 맞춰 정합니다.
- 두께 — "두께 10 µm" → "도면 A부에서 10 µm 이상"
- 전면 코팅 — "전면 코팅" → 도면 주기에 "비코팅 영역 없음"
- 마스킹 — "커넥터 마스킹" → 도면에 비코팅 경계선과 허용 공차 표시
- 밀착력 — "밀착력 양호" → "ASTM D3359 B법 4B 이상"
- 파릴렌 — "파릴렌 코팅" → "Parylene C"
- 방수 — "방수" → "85 °C·85 %RH에서 1000시간 노출 뒤 기능 유지"
(주)와인은 Parylene C·N을 상시 운영하고, D·VT4는 사양 협의로 검토하며, HT는 현재 운영하지 않습니다[9]. 그레이드는 이 범위에서 고릅니다. 비코팅 경계를 도면에 적는 방법은 코팅 마스킹 경계 관리에 정리했습니다.
이 사전으로 정해지지 않는 것은 무엇인가?
합격선과 사내 표기입니다. 용어를 맞춰도 판정 기준과 회사별 도면 용어는 이 글이 정할 수 없습니다.
먼저 합격선입니다. 이 글이 인용한 두 규격은 시험 방법이나 분류만 정하고, 부품의 합격선은 정하지 않습니다. ASTM D3359-23은 합격 등급을 비워 두고[2], IPC-CC-830C는 재료 자격 심사 규격이어서 완성 부품의 실사용 성능을 범위 밖에 둡니다[1]. 시험을 통과했다는 말과 요구 성능을 만족한다는 말은 다르므로, 합격선은 부품의 용도를 아는 발주자가 정해 계약서에 적습니다. 합격선을 계약서 문구로 옮기는 방법은 코팅 사양서 합격선에 정리했습니다.
다음은 사내 표기입니다. 표기는 회사마다 달라서, 같은 "부팅"이 어떤 도면에서는 씌우는 고무 캡을, 다른 도면에서는 끼우는 마개를 가리킵니다. 이 사전이 회사 도면보다 앞서지 않는 이유입니다. 도면 표기와 이 사전이 다르면 도면을 따릅니다. 도면의 용어라도 두 가지로 읽히면, 앞 절의 여섯 용어처럼 되묻습니다.
한글 표기가 여러 가지인 것은 이 둘과 다른 문제입니다. 파릴렌·패럴린·페럴린은 뜻이 다른 용어가 아니라, 같은 이름을 한글로 옮겨 적은 형태입니다. 어느 쪽을 써도 뜻은 어긋나지 않습니다. 표기별 쓰임은 Parylene 한글 표기 정리에, 그레이드별 차이는 Parylene 종류에 정리했습니다.
핵심 요약
- 용어 확인이 먼저인 이유 — 한 용어가 두 가지로 읽히면, 그 해석을 발주자가 아니라 코팅 업체에 맡기게 됩니다. Parylene 막은 일부만 골라 벗겨 내기 어려워, 코팅 뒤에 뜻을 바로잡으려면 재작업이나 부품 폐기로 이어집니다.
- 네 묶음 — 코팅 용어 30개는 원료·공정 8개, 진공·설비 7개, 막·물성 8개, 전처리·검사 7개로 나뉩니다. 묶음마다 주의할 점이 다릅니다. 원료·공정은 온도가 자료마다 다르고, 진공·설비는 공정 압력이 상대값입니다. 막·물성은 조건이 붙어야 값이 되고, 전처리·검사는 작업자와 배치에 따라 결과가 달라집니다.
- 규격이 정하는 정의 — 컨포멀 코팅 분류는 IPC-CC-830C가 정합니다. 파라자일릴렌 계열은 Type XY이고, 목표 두께 12.5 µm 이하는 조성과 무관하게 Type UT입니다[1]. 밀착 등급 척도는 ASTM D3359-23이 정하지만 합격 등급은 비워 둡니다. 크로스컷 5B는 상태이지 강도가 아닙니다[2]. 합격선은 발주자가 계약서에 적습니다.
- 용어가 아닌 뜻의 문제 — 발주서에서 다시 묻는 용어는 두께, 전면 코팅, 마스킹, 밀착력, 파릴렌, 방수 여섯 개입니다[9]. 여섯 모두 빈칸이 아니어서 코팅 업체가 되묻지 않고 넘어가기 쉽습니다. 다섯은 네 묶음의 용어와 이어지고, 방수만 코팅 용어가 아닌 요구 성능입니다.
- 숫자·도면으로 바꿔 적기 — 측정 위치, 경계 공차, 시험 규격, 그레이드, 노출 조건을 붙이면 뜻이 하나로 정해집니다. "두께 10 µm"는 "도면 A부에서 10 µm 이상"으로 적습니다. "파릴렌"은 그레이드로 적습니다. (주)와인은 Parylene C·N을 상시 운영하고, D·VT4는 사양 협의로 검토하며, HT는 현재 운영하지 않습니다[9].
(주)와인은 고객사 발주서의 두께, 마스킹 경계, 밀착 시험 등급, 그레이드, 노출 조건을 함께 검토하고, 조건이 붙은 값으로 확정한 뒤 공정을 시작합니다.
발주 전 여섯 용어(두께, 전면 코팅, 마스킹, 밀착력, 파릴렌, 방수)에 조건을 붙여 부품 도면과 함께 보내 주시면 접수 단계에서 되묻는 일 없이 검토를 시작해 회신합니다. 일반 준비 사항은 부품 코팅 견적 체크리스트에 정리했습니다. 문의하기 · 기술 자료 보기
참고자료
번호는 성격별로 묶어 매겼습니다. 학술 문헌, 규격, 산업 기술자료, 자사 데이터 순입니다. 본문의 번호가 아래 목록의 번호입니다. 용어 정의는 이 목록의 자료가 밝힌 범위까지만 옮겼습니다. 3번과 4번은 원문 전체를 확보하지 못해 초록과 서지 범위에서만 인용했고, (주)와인의 챔버 용량과 접수 기준, 그레이드 운영은 자사 운영 기준이라 규격이 정한 값이 아닙니다.
규격
- IPC-CC-830C (2018-12), Qualification and Performance of Electrical Insulating Compound for Printed Wiring Assemblies, IPC. https://www.electronics.org/TOC/IPC-CC-830C-toc.pdf — §1.3.1이 코팅을 AR·ER·SR·UR·XY·UT·SC 7종으로 분류하고, 목표 두께 12.5 µm[0.49 mil] 이하는 조성과 무관하게 Type UT로 분류한다고 명시. §1.2는 이 규격이 재료 자격 심사만 다루며 실사용 환경 성능은 범위 밖이라고 규정.
- ASTM D3359-23, Standard Test Methods for Rating Adhesion by Tape Test, ASTM International, 2023-03 갱신. https://store.astm.org/d3359-23.html — 테이프 시험으로 도막 부착을 0–5 등급으로 평가. 합격 등급은 이 규격이 정하지 않습니다. 규격은 이 방법이 큰 차이가 아니면 감지하지 못한다고 밝힙니다.
학술 문헌
Gorham, W. F., "A New, General Synthetic Method for the Preparation of Linear Poly-p-xylylenes", Journal of Polymer Science Part A-1: Polymer Chemistry 4(12), 3027–3039, 1966. https://doi.org/10.1002/pol.1966.150041209 — Gorham 공정 원논문. 초록: 다이머(di-p-xylylene)는 600 °C 진공 기상 열분해로 정량적으로 절단되어 p-자일릴렌 두 분자가 되고, p-자일릴렌은 응축할 때 자발적으로 중합해 선형 고분자량 막이 됨. 원문을 확보하지 못해 초록 범위에서만 인용했습니다.
Fortin, J. B. & Lu, T.-M., Chemical Vapor Deposition Polymerization: The Growth and Properties of Parylene Thin Films, Springer, 2004. https://doi.org/10.1007/978-1-4757-3901-5 (Springer, 2004, 단행본) — 실란 커플링제 A-174(감마-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란)의 역할. 단행본 본문을 확보하지 못해 이 서술을 원문 쪽수로 대조하지 못했습니다.
Ortigoza-Diaz, J., Scholten, K., Larson, C., Cobo, A., Hudson, T., Yoo, J., Baldwin, A., Weltman Hirschberg, A. & Meng, E., "Techniques and Considerations in the Microfabrication of Parylene C Microelectromechanical Systems", Micromachines 9(9), 422, 2018. https://doi.org/10.3390/mi9090422 (Europe PMC 전문 PMC6187609, CC BY 4.0) — Parylene은 CVD로 얇고 컨포멀하며 핀홀 없는 막을 만든다는 일반 서술, 통상 증착 속도 약 2 µm/h. WVTR 공개값은 자료마다 크게 다르고(공급사 37 °C 값 0.0830·0.0550 g·mm/m²·day) 아주 얇은 막에서는 두께에 비례하지 않을 수 있음. 연구진 측정은 선행 측정과도 달랐고, 200 °C 진공 열처리 뒤 약 25 % 낮아짐. Parylene C 미세 소자 연구의 개관이며, 핀홀 개수나 상온 증착 중 부품 온도를 직접 측정한 연구는 아닙니다.
Afshari, E., Verplancke, R., Cauwe, M. & Op de Beeck, M., "Quality and Lifetime of Thin Parylene F-VT4 Coatings for Hermetic Encapsulation of Implantable Medical Devices", Coatings 15(6), 648, 2025. https://doi.org/10.3390/coatings15060648 (CC BY 4.0) — imec·Ghent University CMST의 Parylene F-VT4 핀홀 시험. 구리 식각 구멍 수 0.3 µm 42 ± 5, 0.6 µm 6 ± 2, 0.9·1.2 µm 0. 작은 입자·얼룩·잔사 지점에서 핀홀이 남고, 오염 관리가 나쁘면 필요한 최소 두께가 커짐. 1.2 µm 이하 F-VT4 박막의 결과이며, Parylene C나 수 µm 이상의 막은 시험하지 않았습니다.
산업 기술자료
- Specialty Coating Systems, PDS 2010 LABCOTER™ 2 Parylene Deposition System — Operator's Manual, OM-610-1002-1 Rev 37. https://www.nanofab.utah.edu/wp-content/uploads/2022/11/Parylene-Coater-Manual.pdf — 진공 다섯 등급과 중진공 영역 명시(중진공은 1–1×10⁻³ Torr이며 Parylene 증착이 이 영역에서 진행된다고 적음), 도달 진공의 정의, 공정 압력을 도달 진공 위 몇 단위로 설정하는 원칙, 누설의 구분. 미국 유타대학교 Nanofab이 공개한 사본으로 확인했습니다.
- Duke University SMIF, Useful Parameters For Parylene Deposition. https://smif.pratt.duke.edu/sites/smif.pratt.duke.edu/files/operating/UsefulParametersForParyleneDeposition.pdf — SCS PDS 2010 장비 기준 Parylene 종류별 설정값(Parylene N 열분해 650 °C / Parylene C 열분해 690 °C). 대학 공용 설비의 장비 운전 자료이며 학술 출처는 아닙니다.
자사 데이터
- (주)와인 자사 운영 기준 (2026-08) — 60L·300L·1100L 세 챔버 운영, 접수 단계에서 조건 없이 적힌 여섯 용어(두께·전면 코팅·마스킹·밀착력·파릴렌·방수)를 되묻는 운영, 되물어 확정한 값을 발주서에 반영한 뒤 공정을 시작하는 순서. Parylene C·N 상시 운영, D·VT4는 사양 협의, HT는 현재 운영하지 않음. 자사 설비 운영 기준이며 외부 시험기관 성적서가 아닙니다.
