Small
60L
소형 부품 · 소량
- 챔버 크기 (내경 기준)
- 400Ø × 500H
코팅 장비
60L · 300L · 1100L — 제품 크기와 수량에 맞춰 챔버를 선택합니다.
Equipment
자사 운영 코팅 장비
코팅할 제품의 크기와 수량에 맞춰 챔버를 선택합니다. 부품이 작고 물량이 적으면 60L, 크거나 많으면 300L · 1100L을 사용하며, 어느 챔버에서도 동일한 공정 조건과 코팅 품질을 유지합니다. 챔버 크기는 내경(유효 코팅 공간) 기준입니다.
Medium
300L
중형 부품 · 대량
- 챔버 크기 (내경 기준)
- 700Ø × 800H
Large
1100L
대형 부품
- 챔버 크기 (내경 기준)
- 1100Ø × 1200H
Specification
공통 구성 사양
60L · 1100L 장비 기준입니다. 챔버 크기와 진공 펌프를 빼면 두 장비의 구성이 같습니다.
| 구분 | 항목 | 사양 |
|---|---|---|
| 전원 | 소비전력 | 10 kW 이내 |
| 전원 | 입력 전압 | 3상 4선식 380V |
| 진공 챔버 | 재질 · 두께 | 스테인리스 스틸(SUS304) · 6 mm |
| 진공 챔버 | 지그 구동 | 회전식(속도 제어 가능) |
| 다이머 기화 · 열분해 | 기화로 | 0~220°C 제어(레일 방식) |
| 다이머 기화 · 열분해 | 열분해로 | 0~800°C 제어 |
| 진공 | 진공 펌프 | 60L 드라이 펌프 250 L/min · 1100L 로터리 펌프 3,650 L/min(드라이 펌프 선택 가능) |
| 진공 | 진공 센서 · 밸브 | Pirani 센서 · 전기식 메인 밸브 · 수동 벤트 밸브 |
| 냉각 | 칠러 | -80°C 이하 |
| 제어 | 시스템 제어 | 터치 PC |
300L 챔버의 상세 사양은 문의 시 안내합니다.
FAQ
Parylene 코팅 장비 FAQ
