증착 코팅 납기 — 리드타임을 구성하는 접수·대기·코팅·검사

1분 요약 (Executive Summary)

• 주제 안내 — 이 글은 Parylene 코팅 납기가 정해지는 구조와 코팅 사이클이 늘어나는 구조, 한 배치의 적재량, 납기를 앞당기는 방법, 초도 발주와 재발주의 차이를 다룹니다.
• 납기를 이루는 5단계 — 코팅 납기는 챔버 가동 시간만이 아니라 접수, 초도 준비, 챔버 대기, 코팅 사이클, 검사의 5단계를 모두 합한 시간입니다.
• 두께를 따라 늘어나는 구간은 코팅 사이클뿐 — 증착 시간은 '목표 두께 ÷ 증착 속도'이므로 두께에 비례해 길어집니다. 나머지 네 단계는 사양과 챔버 일정에 따라 달라집니다.
• 종류별 증착 속도 차이 — 같은 25 µm 두께라도 종류에 따라 증착 시간이 크게 다릅니다. Parylene N은 C보다 증착 속도가 느려 시간이 몇 배로 늘어납니다.
• 배치 적재량의 한계 — 한 배치에 넣는 부품 수는 임의로 늘릴 수 없습니다. 부품 간 최소 간격(장비 운전 자료 기준 0.5인치)과 두께 균일도가 적재량을 제한하기 때문입니다. 빼곡히 채운다고 납기가 줄지 않습니다.
• 재발주 납기를 줄이는 방법 — 첫 발주 때 도면 사양, 지그, 마스킹 방법, 합격 기준을 확정해 둡니다. 재발주 때는 초도 준비가 대부분 빠지고, 납기를 바꾸는 주된 변수로 챔버 대기만 남습니다.

"똑같이 25 µm 두께로 코팅하는데, 왜 어떤 부품은 하루 만에 끝나고 어떤 부품은 며칠씩 필요할까요?"

같은 두께를 요구하더라도 Parylene(파릴렌) C 대신 Parylene N을 고르면 증착 시간이 몇 배로 늘어납니다. 종류별 특성 차이는 Parylene 종류에 정리했습니다. 종류 차이에 배치 공정이라는 조건이 더해집니다. Parylene 코팅은 진공 챔버에 여러 부품을 함께 넣고 한 번에 증착하므로, 앞선 배치가 챔버를 차지하는 동안 다음 부품은 작업대에서 기다립니다. 코팅 납기를 물으시면 (주)와인이 "부품과 사양에 따라 다르다"고 답하는 이유입니다.

코팅 납기 일정을 검토하는 개발·품질 담당자를 위해, 납기를 이루는 5단계부터 코팅 사이클 시간이 정해지는 구조, 한 배치에 들어가는 부품 수, 납기를 앞당기는 방법, 초도 발주와 재발주의 차이까지 차례로 정리합니다.

Parylene 코팅 납기는 무엇으로 정해지는가?

Parylene 코팅 납기는 장비가 가동되는 시간만으로 정해지지 않습니다. 부품이 들어와 출하될 때까지 거치는 접수, 초도 준비, 챔버 대기, 코팅 사이클, 검사 5단계의 합입니다. 이 가운데 전체 납기에 가장 큰 영향을 주는 단계는 초도 준비와 챔버 대기입니다. 두께로 미리 가늠할 수 있는 구간은 코팅 사이클 하나뿐입니다.

1. 접수·사양 검토 — 사양을 분명히 하는 단계입니다. 부품 재질, 목표 두께, 마스킹(코팅 제외) 영역을 확인해 작업 방식을 설계합니다. 도면과 샘플이 갖춰져 있을수록 이 단계가 짧아집니다. 샘플 준비 절차는 Parylene 코팅 샘플 테스트에 정리했습니다.
2. 초도 준비(NRE) — 납기 편차가 가장 큰 구간입니다. 첫 발주에만 있는 단계이며, 전용 지그 제작, 마스킹 방법 확정, 초도 샘플 검증과 승인이 여기에 들어갑니다. 같은 사양으로 재발주할 때는 대부분 생략되므로, 양산 납기가 그만큼 짧아집니다.
3. 챔버 대기(배치 일정) — 일정을 배정받는 단계입니다. 배치 공정이라 부품이 챔버에 들어갈 차례를 기다립니다. 대기 시간은 같은 공정 조건의 다른 발주와 한 배치로 묶는 일정과 챔버(60L·300L·1100L)가 비는 시점에 따라 달라집니다.
4. 코팅 사이클 — 장비가 펌프다운(진공 형성) → 증착·표면 중합 → 벤팅(대기압 복귀) 순으로 가동되는 구간입니다. 이 가운데 증착 시간은 목표 두께와 증착 속도가 정하며, 그 구조는 다음 절에 정리했습니다.
5. 검사·디마스킹 — 품질을 확인하고 마무리하는 단계입니다. 증착이 끝나면 마스킹 재료를 제거합니다. 마스킹 영역이 복잡하고 미세할수록 이 디마스킹 수작업이 길어집니다. 이어서 두께 측정과 외관 검사를 거쳐 출하를 준비합니다. 밀착 시험(크로스컷)은 고객이 요청하면 동반 시편으로 합니다.

납기를 앞당기는 방법은 뒤의 "코팅 납기를 앞당기려면 무엇을 해야 하는가?"에 모았습니다. 배치 공정과 초도 준비가 코팅 비용을 정하는 과정은 Parylene 코팅 비용에, 취급하는 Parylene 종류와 챔버 구성은 Parylene 코팅 서비스에 정리했습니다.

코팅 사이클 시간은 두께에 따라 어떻게 늘어나는가?

코팅 사이클은 두께와 무관한 기본 시간에, 목표 두께에 비례해 늘어나는 증착 시간이 더해진 값입니다.

증착 시간 ≈ 목표 두께(µm) ÷ 증착 속도(µm/시간)

분모인 증착 속도는 Parylene 종류뿐 아니라 설비, 공정 설정, 적재한 부품의 표면적과 형상에 따라 달라집니다. 같은 종류라도 설비가 다르면 값이 다르므로, (주)와인은 시간당 증착 두께를 조건 없이 표기하지 않고 부품과 사양을 검토한 뒤 그 배치의 소요 시간을 회신합니다. 납기를 가늠할 때 쓸 수 있는 원리는 두 가지입니다. 같은 조건이라면 목표 두께가 두 배일 때 증착 시간도 약 두 배가 되고, 같은 두께라면 Parylene N이 C보다 몇 배 오래 걸립니다. 부품의 사용 환경에 맞는 목표 두께를 정하는 방법은 Parylene 코팅 두께 설계에 정리했습니다.

이렇게 가늠한 증착 시간에는 펌프다운·가열·벤팅 같은 기본 시간이 들어 있지 않으며, (주)와인이 보증하는 납기도 아닙니다. 실제 납기는 부품 사양과 그 시점의 챔버 일정을 반영해 개별로 회신합니다.

두께와 상관없이 드는 기본 시간

증착 전후에는 코팅 두께나 수량과 관계없이 드는 기본 시간이 있습니다. 장비 운전 자료는 승화 히터를 켜기 전에 콜드 트랩부터 냉각하도록 안내합니다[7]. Bröskamp 연구진의 반응기에서는 증착 온도까지 가열하는 데 약 45분이 들었습니다[4]. Gluschke 연구진이 5–100 nm 초박막용으로 만든 소형 장비도 마찬가지입니다. 증착 자체는 약 9분(시작 약 4분 → 종료 약 13분)이면 끝났지만, 그 앞에 배기와 온도 안정화에 보통 60–90분이 들었고 끝난 뒤에는 진공 상태로 식혔습니다[5].

여기에 펌프다운, 열분해 노 가열, 증착 뒤 벤팅 시간이 더해집니다. 아무리 얇은 코팅이라도 배치마다 이 기본 시간이 듭니다. 1–2 µm 박막처럼 증착 시간이 짧은 사양일수록 사이클 시간에서 기본 시간이 차지하는 비중이 커집니다.

Parylene N이 C보다 느린 이유

같은 두께에서 N의 증착이 C보다 느린 데는 두 가지 이유가 있습니다.

• 분자량과 극성의 차이 — Parylene C는 염소 원자가 붙어 있어 N보다 무겁고 극성이 큽니다. 이 차이로 C는 N보다 기판 표면에 쉽게 응축해 막을 형성합니다[1].
• 증착 한계 온도의 차이 — 표면 온도가 일정 한계를 넘으면 단량체가 응축하지 못해 막이 형성되지 않습니다. 이 한계 온도는 연구마다 다릅니다. Kramer 연구진은 1 Torr 미만에서 N은 30 °C 이하, C는 90 °C 이하의 표면에서 증착된다고 정리했습니다[1]. Bröskamp 연구진은 관 내부 증착 실험에서 온도가 오를수록 N의 증착 속도가 줄다가 70 ± 2 °C에서 0이 된다고 보고해, 기존 보고값 25–30 °C를 수정했습니다[4]. 어느 값이든 N의 한계는 C의 90 °C보다 낮습니다.

증착 속도를 계속 높일 수 없는 이유

납기를 줄이려고 공정 변수를 조정해 증착 속도를 높이는 데는 한계가 있습니다[1, 7].

• 기판 냉각의 한계 — Parylene은 보통의 CVD와 반대로 기판이 차가울수록 기판 쪽에 더 많이 증착됩니다. 증착량은 −78 °C 아래에서는 더 늘지 않았습니다. 차갑게 할수록 열분해 노(爐) 입구를 마주한 면에 막이 두껍게 쌓였고, −196 °C에서는 막이 아니라 솜털 같은 구조가 형성됐습니다[1].
• 단량체 압력을 높일 때의 품질 저하 — 단량체 압력을 높이면 증착 속도가 빨라집니다. Kramer 연구진은 Parylene N의 막 성장 속도가 단량체 압력의 제곱에 비례한다는 선행 연구를 인용했습니다[1]. 그 대신 압력이 높을수록 좁은 틈 입구에 막이 두껍게 쌓이고 안쪽은 얇아집니다[2]. 장비 운전 자료에도 증착 속도를 무리하게 높이면 막질이 나빠진다는 경고가 있습니다[7].
• 승화 온도를 올릴 때의 두께 감소 — 원료를 가열하는 승화 온도를 올리면 증착 속도는 빨라지지만, 같은 원료량으로 얻는 두께는 줄어듭니다. Kramer 연구진이 Parylene C의 승화 온도를 120 °C에서 140 °C로 올린 결과 증착 속도는 약 3배가 됐지만, 같은 원료량으로 얻은 두께는 18 % 줄었습니다[1].

두꺼운 사양을 빠르게 처리하려고 증착 속도를 무리하게 높이는 것은 품질을 희생해 납기를 줄이는 일입니다. 품질을 지키며 사이클 시간을 줄이는 방법은 실제 사용 환경에 필요한 최소 두께로 사양을 정하는 것입니다. 승화 온도와 증착 압력이 증착 속도와 부품이 고르게 덮이는 정도에 주는 영향은 Parylene CVD 증착 공정 3단계에 정리했습니다.

한 배치에 부품이 얼마나 들어가는가?

한 배치에 넣는 부품 수는 임의로 늘릴 수 없습니다. 부품 간 최소 간격과 두께 균일도가 적재량을 제한하기 때문입니다. 챔버 안이 넉넉해 보여도 부품을 빼곡히 채울수록 서로 가린 면과 좁은 틈이 생겨 두께 규격을 맞추기 어렵습니다. 적재량의 이런 한계에 장비 정비 일정까지 겹쳐 챔버 대기가 생깁니다.

적재량과 챔버 일정을 제한하는 세 가지 요인

1. 부품 간 최소 간격 — 단량체 기체가 부품의 모든 면에 고르게 닿도록 부품끼리 서로 가리지 않게 배치합니다. 대학 공용 설비의 장비 운전 자료는 챔버 안 부품 간 간격을 0.5인치(약 12.7 mm) 이상 유지하도록 안내합니다[7]. Broer·Luijks 연구진의 채널 실험에서도 좁은 틈 안의 막은 안쪽으로 갈수록 입구보다 얇아졌습니다[2].
2. 위치·형상에 따른 두께 편차 — 같은 시편 안에서도 위치마다 두께가 다릅니다. Seidenath 연구진의 단면 사진에서는 막 두께가 배선 위 22.6 µm, 배선 사이 24.0 µm였습니다[3]. 좁고 막힌 관 안쪽의 막은 입구에서 멀수록 얇아집니다. Bröskamp 연구진은 길이 200 mm·안지름 1.5 mm인 막힌 관에서 입구 쪽을 더 따뜻하게(67 °C → 막힌 끝 25 °C) 하는 온도 기울기를 주어 두께를 ±7.5 % 안으로 맞췄습니다. 연구진은 이렇게 하면 전체 증착 속도가 낮아진다고 밝혔습니다[4]. 균일도를 얻는 대신 증착 시간이 늘어납니다. 챔버 안 적재 위치에 따라서도 두께가 바뀝니다. Spellman 연구진이 챔버 곳곳에 원판을 두고 측정한 결과, 중간 높이 원판의 막이 가장 두껍고 위아래로 갈수록 최대 25 % 얇아졌습니다[6]. 코팅 품질은 지그 설계와 적재 위치에 따라 크게 달라지므로, 초도 준비 단계에서 이를 정해 둡니다.
3. 누적 증착량에 따른 정비 일정 — 공정이 반복되면 챔버 내벽에도 Parylene 막이 쌓입니다. 내벽 막이 일정 두께를 넘거나 원료 누적 사용량이 기준에 이르면 청소와 정비를 합니다[7]. 이 정비 일정도 배치 일정에 들어가므로 챔버 대기 시간에 영향을 줍니다.

한 배치에 넣을 수 있는 부품 수의 상한은 챔버 공간이 아니라, 품질 규격을 지키는 범위 안에서 정해집니다. 배치 채움률과 단가의 관계는 소량·시제품 코팅 발주에 정리했습니다.

코팅 납기를 앞당기려면 무엇을 해야 하는가?

납기를 앞당기는 핵심은 첫 발주 때 사양을 분명히 정하고, 지그, 마스킹 방법, 합격 기준을 확정해 두는 것입니다. 이 초도 준비(NRE)가 끝나면 재발주 때는 준비 단계가 대부분 빠지고, 납기를 바꾸는 주된 변수로 챔버 대기만 남습니다.

납기를 줄이는 일곱 가지 방법

1. 사양·샘플 미리 갖추기 — 부품 재질, 사용 환경, 목표 두께, 수량, 마스킹 영역을 첫 문의 때 도면·샘플과 함께 보내 주시면 검토 시간이 줄어듭니다. 보낼 항목은 부품 코팅 견적 체크리스트에 정리했습니다.
2. 초도 준비(NRE) 미리 확정 — 시제품 단계에서 전용 지그, 마스킹 방법, 합격 기준을 확정해 두면 양산으로 넘어갈 때 준비 단계를 다시 거치지 않아 납기가 짧아집니다.
3. 배치 일정에 맞춘 묶음 발주 — 적은 수량을 짧은 간격으로 나눠 발주하기보다, 챔버 가동 일정에 맞춰 수량을 모아 발주하면 대기 시간이 줄어듭니다.
4. 두께 최적화 — 증착 시간은 두께에 비례하므로, 목표 두께를 사용 환경이 요구하는 최소 수준으로 정하면 증착 시간이 그만큼 줄어듭니다.
5. Parylene 종류 재검토 — 같은 두께라면 Parylene C가 N보다 훨씬 빨리 쌓입니다. N이 꼭 필요한 사양이 아니라면 C를 기본으로 검토합니다. 고온 요구로 다른 종류가 필요하면 D·VT4를 사양 협의 후 진행하며, 요구에 맞출 수 있는지와 증착 속도를 그 협의에서 함께 확인합니다. HT(AF-4)는 현재 운영하지 않습니다.
6. 마스킹 단순화 — 설계 단계에서 코팅 제외 영역을 줄이거나 형상을 단순하게 하면, 마스킹 작업, 디마스킹, 검사가 모두 빨라집니다.
7. 재발주 물량 미리 알리기 — 반복 양산 물량의 예상 일정을 미리 알려 주시면 챔버 일정을 먼저 확보해 둘 수 있습니다.

(주)와인의 3단 챔버 배정

(주)와인은 60L·300L·1100L 3단 챔버를 갖추고 물량과 부품 크기에 맞는 챔버를 배정합니다. 가장 작은 60L 챔버에서 검증한 설정값과 전처리·마스킹 조건을 300L·1100L 양산 챔버로 옮기므로, 시제품에서 양산으로 넘어갈 때 재검증 시간이 줄어듭니다. 두께는 큰 챔버에서 기준 시편으로 다시 확인합니다.

초도 발주와 재발주는 무엇이 다른가?

초도 발주와 재발주의 차이는 초도 준비(NRE) 구간이 있느냐 없느냐입니다. 코팅 사이클과 검사·디마스킹은 두 경우 모두 같습니다. 초도 발주에서 시간이 가장 많이 드는 전용 지그 설계·제작과 마스킹 방법 확정은 재발주에서 대부분 생략됩니다.

위 내용은 (주)와인 자사 운영 기준(2026년 8월)이며, 규격이 정한 절차가 아닙니다.

재발주 납기가 짧아지는 것은 초도 발주 때 정한 지그, 마스킹 방법, 합격 기준을 기록으로 남겨 그대로 쓰기 때문입니다. 준비 단계가 빠지므로 납기는 챔버 대기와 코팅 사이클을 중심으로 예측할 수 있습니다.

핵심 요약

• 납기를 이루는 5단계 — Parylene 코팅 납기는 장비가 가동되는 시간만으로 정해지지 않습니다. 접수, 초도 준비, 챔버 대기, 코팅 사이클, 검사로 이어지는 5단계의 합입니다.
• 두께를 따라 늘어나는 구간은 코팅 사이클뿐 — 5단계 가운데 두께로 소요 시간을 미리 가늠할 수 있는 구간은 코팅 사이클 하나뿐입니다. 증착 시간은 목표 두께 ÷ 증착 속도에 따라 늘어납니다.
• 종류별 증착 속도 차이 — 같은 두께라도 Parylene N은 C보다 증착 속도가 느려 시간이 몇 배로 늘어납니다. 증착 속도는 설비와 조건마다 달라, 실제 소요 시간은 부품을 검토한 뒤 회신합니다.
• 배치 적재량의 한계 — 한 배치에 넣는 부품 수는 임의로 늘릴 수 없습니다. 단량체가 모든 면에 고르게 닿도록 부품 사이에 두는 최소 간격(장비 운전 자료 기준 0.5인치)과 두께 균일도가 적재량을 제한하기 때문입니다.
• 재발주 납기를 줄이는 방법 — 첫 발주 때 지그, 마스킹 방법, 합격 기준을 확정해 둡니다. 이 조건을 이어 쓰면 재발주 때는 초도 준비가 대부분 빠지므로, 챔버 대기와 코팅 사이클을 중심으로 납기를 예측할 수 있습니다.

(주)와인은 고객사 부품의 목표 두께와 수량, 지그·마스킹 확정 여부를 확인하고, 그에 맞는 Parylene 종류와 배치 구성을 제안합니다.

재질, 사용 환경, 목표 두께, 수량, 마스킹 영역, 희망 납기 여섯 항목을 알려 주시면 배치 구성과 챔버 일정을 검토해 납기 산출안을 회신합니다. 일반 준비 사항은 부품 코팅 견적 체크리스트에 정리했습니다. 문의하기 · 기술 자료 보기

참고자료

번호는 성격별로 묶어 매겼고(학술 문헌 → 산업 기술자료 → 자사 데이터), 나중에 더한 학술 문헌은 학술 문헌 묶음 끝에 붙였습니다. 본문의 번호가 아래 목록의 번호입니다. (주)와인의 챔버 구성과 단계별 운영 방식은 자사 설비 운영 기준이며, 규격이나 문헌이 정한 값이 아닙니다. 학술 문헌 1–5의 시간·속도는 각 연구의 실험 장비에서 얻은 값으로, 상용 설비의 납기 계산에 그대로 쓰지 않습니다. 나중에 더한 6번 문헌은 원문을 확보하지 못해 초록 범위에서만 인용했습니다.

학술 문헌

1. Kramer, P., Sharma, A. K., Hennecke, E. E. & Yasuda, H., "Polymerization of para-xylylene derivatives (parylene polymerization). I. Deposition kinetics for parylene N and parylene C", Journal of Polymer Science: Polymer Chemistry Edition 22(2), 475–491, 1984. https://doi.org/10.1002/pol.1984.170220218 — 1 Torr 미만에서 p-xylylene은 30 °C 이하 표면에서 중합. 기판 챔버 콜드 트랩 온도를 낮출수록 기판 챔버 증착 비율이 늘고 −196 °C에서는 솜털 같은 그물 구조. 승화 120 → 140 °C(Parylene C)에서 증착 속도 0.0153 → 0.0445 µm/min, 최종 막 두께 1.26 → 1.03 µm. 초록: C는 N보다 챔버에 쉽게 쌓임. 대학 실험용 반응기의 결과이며 상용 코팅 설비의 운전값이 아닙니다.

2. Broer, D. J. & Luijks, W., "Penetration of p-xylylene vapor into small channels prior to polymerization", Journal of Applied Polymer Science 26(7), 2415–2422, 1981. https://doi.org/10.1002/app.1981.070260727 — 유리 측벽 사이 틈 14·28·56 µm, 길이 70 mm 사각 채널의 입구 거리별 두께 측정. 단량체·잔류 가스 압력 0.01 Torr에서 세 틈 모두 분자 흐름 모델과 일치하며 두께가 서서히 감소, 단량체 0.07 Torr에서 28·56 µm 틈 입구 부근의 급격한 두께 감소(그림 2). 결론: 가장 좋은 진입 특성은 낮은 증착 속도에서 얻어짐.

3. Seidenath, M., Jäger, D., Wilhelm, J., Rauh, H. & Maerz, M., "In Situ Coating Thickness Measurement of Parylene Using a Capacitive Sensor", Electronic Materials 7(2), 11, 2026. https://doi.org/10.3390/electronicmat7020011 — PCB 위 빗살 구리 전극의 정전용량 변화로 증착 중 막 두께를 측정(상용 Parylene·ALD 겸용 장비, 20 µm 초과 Parylene C 공정은 최대 9시간). Parylene C 4회 공정에서 정전용량이 49–53 pF 늘었고, 단면 현미경 두께는 20–25 µm. 한계: 센서는 부품이 아니라 센서 위치의 두께를 측정하며, Parylene 종류와 목표 두께마다 단면 비교 보정이 필요하다고 연구진이 밝힙니다.

4. Bröskamp, S. F., Redka, D., Möhlmann, A., Franz, G. & Jocham, D., "Chemical vapor deposition of poly-p-xylylene in narrow tubes", AIP Advances 7(7), 075005, 2017. https://doi.org/10.1063/1.4994678 (오픈 액세스, CC BY 4.0) — 72 L 반응기(Plasma Parylene Systems)에서 가열에 약 45분이 걸림. 펠티에 소자로 ±50 °C 넘는 온도 차를 만들어 길이 200 mm·안지름 1.5 mm(종횡비 133)의 막힌 관 안 두께를 ±7.5 %로 맞췄고, 이 온도 분포는 전체 증착 속도를 낮추는 대신 두께를 고르게 함. Parylene N의 한계 온도는 70 ± 2 °C. Parylene N과 실험용 반응기·유리 모세관 조건의 결과이며, 상용 코팅 설비의 운전값이 아닙니다.

5. Gluschke, J. G., Richter, F. & Micolich, A. P., "A parylene coating system specifically designed for producing ultra-thin films for nanoscale device applications", Review of Scientific Instruments 90(8), 083901, 2019. https://doi.org/10.1063/1.5099293 · 저자 원고 https://arxiv.org/abs/1909.05595 (저자 원고 기준) — UNSW Sydney. 5–100 nm 초박막용 소형 CVD 장비 논문. VII절 운전 절차: 시료 장착 뒤 배기, 콜드 트랩을 냉각하고 열분해로를 켜 모든 온도가 안정될 때까지 보통 60–90분 대기. 그림 5의 대표 증착은 약 4분에 시작해 약 13분에 끝나고, 끝난 뒤 히터를 끄고 진공 상태로 식힘. 초박막 연구용 소형 장비의 절차이며 상용 설비의 사이클 시간이 아닙니다. 출판본(AIP)이 아닌 arXiv 저자 원고로 확인했습니다.

6. Spellman, G. P., Carley, J. F. & Lopez, L. A., "Vacuum Deposition of Parylene Films: Influence of Process Factors and Baffling on Film-Thickness Distribution", Journal of Plastic Film & Sheeting 15(4), 308–328, 1999. https://doi.org/10.1177/875608799901500406 — Lawrence Livermore National Laboratory. 알루미늄 원판 60개 또는 80개를 챔버 곳곳에 두고 두께 분포를 조사(첫 다섯 공정, 320점). 막은 챔버 높이 가운데에서 가장 두껍고 위아래로 대칭적으로 최대 25 % 얇아졌으며, 물체를 제한된 높이 범위에 두고 서로 가리지 않게 하면 ±10 % 미만 편차가 가능하다는 서술. 원문을 확보하지 못해 초록 범위에서만 인용했습니다. 챔버 크기와 Parylene 종류는 초록에 없고, 적재 수량과 납기의 관계는 다루지 않았습니다.

산업 기술자료

7. Duke University SMIF, Useful Parameters For Parylene Deposition. https://smif.pratt.duke.edu/sites/smif.pratt.duke.edu/files/operating/UsefulParametersForParyleneDeposition.pdf — 챔버 안 제품 간 최소 간격 0.5인치, 콜드 트랩 선냉각, 챔버 벽 청소 기준, 증착 속도를 무리하게 높일 때의 막질 저하 경고. 대학 공용 설비의 장비 운전 자료이며 학술 출처는 아닙니다.

자사 데이터

8. (주)와인 자사 운영 기준 (2026-08) — Parylene C·N 상시 운영(D·VT4는 사양 협의, HT는 현재 운영하지 않음), 초도 발주·재발주 단계 차이(표 1), 60L·300L·1100L 3단 챔버 배정 방식. 자사 설비 운영 기준이며 규격이나 문헌이 정한 값이 아닙니다.