1분 요약 (Executive Summary)
- 주제 안내 — 이 글은 압력·온도 센서 다이에 Parylene 막을 형성해 미디어 저항을 얻으려 할 때, 코팅이 측정값에 주는 영향, 두께 설계 창, 공개 데이터가 있는 매질, 온도 조건, 검토에 필요한 항목을 다룹니다.
- 센서 종류별 영향 — 압력 센서는 다이어프램의 강성이, 온도 센서는 응답 속도가 코팅의 영향을 받습니다. Yao 연구진은 상용 압력 센서 한 기종에 Parylene C 막을 약 0.95 µm 증착한 결과 감도가 평균 0.90 % 낮아졌다고 보고했습니다[2]. 결과는 센서 구조마다 달라 실측이 필요합니다.
- 두께 설계 창 — 차단 성능을 높이려면 막이 두꺼워야 하고 측정값에 주는 영향을 줄이려면 얇아야 해서, 두 요구가 함께 성립하는 두께 구간이 설계 창이 됩니다. 절연·내습 사양에서 (주)와인은 0.5–2 µm 박막 구간을 운영합니다[11].
- 공개 데이터가 없는 매질 — 냉각수, 요소수, 실제 연료, 냉매 등은 공개 데이터가 없어 시편을 직접 노출해 평가합니다. 공개 데이터가 있는 매질은 산, 알칼리, 일반 유기 용제입니다[3, 6].
- 온도를 먼저 확인 — 상시 표면 온도가 Parylene C의 연속 사용 온도인 80 °C를 넘으면 두께 조절로 해결되지 않습니다[7]. 온도를 가장 먼저 검토하는 이유입니다.
- 검토에 필요한 다섯 항목 — 적용 여부와 두께 범위를 판단하려면 상시·최고 온도, 접촉 매질·농도, 측정 허용 오차, 다이 구조와 제외면, 요구 수명이 필요합니다[11].
압력이나 온도를 정밀하게 측정하는 센서는 측정 대상인 매질에 직접 닿아야 합니다. "닿아야 하는데, 닿으면 손상된다." 센서 패키징과 코팅 설계는 이 모순을 해결하는 일입니다. 다이(Die)를 매질에서 격리하면 다이는 안전하지만 응답이 둔해집니다. 거꾸로 매질에 직접 노출하면 응답은 좋아지지만, 다이가 화학적·물리적 공격을 그대로 받습니다.
Parylene(파릴렌) 코팅은 직접 노출 구조에서 다이에 미디어 저항(Media resistance)을 주는 방법입니다. 다이와 와이어본드가 포트 쪽으로 열려 있는 구조에서는 막 두께를 정하기가 까다롭습니다. 막을 두껍게 하면 응답 특성이 떨어지고, 얇게 하면 보호 성능이 부족해집니다. 두께는 응답 특성과 보호 성능이라는 두 요구 사이에서 정해집니다.
매질에 직접 노출되는 센서 다이의 보호막을 검토하는 개발·설계·품질 담당자를 위해, 미디어 저항이 필요한 이유, 코팅이 측정값을 바꾸는 이유, 두께가 정해지는 두 요구, 공개 데이터가 있는 매질과 없는 매질, 온도 조건, 검토를 요청할 때 알려 주실 항목을 차례로 정리합니다.
센서 다이에 미디어 저항이 왜 필요한가?
센서 다이가 측정 대상인 매질에 직접 닿아야만 정확한 측정값을 얻을 수 있기 때문입니다.
압력 센서는 다이어프램의 미세한 휨을 읽어야 합니다. 온도 센서는 매질의 열이 소자에 그대로 전달되어야 신뢰할 수 있는 값을 냅니다. 매질과 다이 사이를 가로막는 요소가 늘어날수록 응답은 느려지고 오차 요인도 많아집니다.
Han 연구진의 MEMS 압력 센서 리뷰 논문에 따르면, 실리콘 오일을 채운 격리형 패키지는 칩과 와이어본드를 매질에서 보호하는 대신 패키지가 커지고, 금속 다이어프램에서 칩까지 압력이 전달되는 경로가 길어져 주파수 응답이 떨어집니다. 와이어본드를 그대로 드러낸 패키지는 그 반대로 칩과 와이어본드를 보호하지 못합니다[5]. 코팅은 이 두 방식 사이에서 직접 노출 방식을 유지하면서도 가혹한 환경을 견디게 하는 수단입니다.
센서 다이가 매질에 노출될 때 생기는 세 가지 문제
- 수분과 이온 침투 — 내부로 스며들어 전기적 절연 성능을 떨어뜨립니다.
- 화학종의 공격 — 다이 표면과 미세 배선을 부식시킵니다.
- 응축과 오염 — 표면에 맺히는 응축액과 오염 물질이 센서의 출력 신호를 불안정하게 만듭니다.
가장 취약한 부위는 다이의 평탄한 면이 아닙니다. 와이어본드 접합부와 다이 가장자리입니다. 형상이 꺾이고 이종 재질이 만나는 곳이어서 응력이 몰리고 화학종이 스며들기 쉽습니다.
Parylene 막은 진공 기상 증착(CVD)으로 형성되기 때문에 와이어본드처럼 가늘고 복잡한 형상 위에서도 끊기지 않고 이어집니다. 가장자리와 접합부까지 얼마나 고르게 덮였는지는 컨포멀리티, 즉 위 도식의 두 커버리지 비율로 확인합니다[1].
코팅이 측정값을 바꾸는 이유는 무엇인가?
센서 위에 형성된 보호막은 단순히 덮는 막이 아니라 센서 측정 구조의 일부가 되기 때문입니다.
- 압력 센서 — 다이어프램이 압력을 받아 휘어질 때 출력이 나옵니다. 그 위에 막이 형성되면 전체 강성이 바뀌어 휨 특성 자체가 달라집니다.
- 온도 센서 — 코팅 막이 열 전달 경로에서 열저항으로 작용해 응답 시간이 늘어납니다. 최종 도달 온도는 같더라도 과도 응답(Transient response) 구간에서 오차를 일으킵니다.
MEMS 센서에서 막이 질량 부하와 갭 감소로 공진 주파수를 바꾸는 경우는 MEMS 센서 코팅에 정리했습니다.
보호 성능을 얻는 만큼 응답 성능은 일부 떨어집니다. 변화의 크기는 공개 연구로 가늠할 수 있습니다. 베이징과기대·칭화대의 Yao 연구진은 상용 압저항 압력 센서 한 기종 7개에 Parylene C 막을 약 0.95 µm 두께로 증착한 결과, 감도가 평균 0.90 % 낮아지고 오프셋이 소폭 증가했다고 보고했습니다[2]. 상온에서 한 기종으로 시험한 결과이므로 다른 구조나 두께 조건에 그대로 대입할 수 없습니다.
실제 출력 변화량과 오프셋 이동치는 센서 다이 치수, 다이어프램 두께, 코팅 두께와 고정 조건에 따라 크게 달라집니다. (주)와인은 이 값을 보증하지 않으며, 코팅 전후 출력은 시제품 단계에서 고객사가 직접 비교 측정합니다.
두께는 어떤 두 요구 사이에서 정해지는가?
차단 성능을 높이려면 막이 두꺼워져야 하고, 센서 측정 구조에 주는 영향을 줄이려면 얇아져야 합니다.
두 요구가 함께 성립하는 두께 구간을 설계 창이라고 부릅니다.
- 하한 두께 상승 — 측정 대상 매질 환경이 가혹할수록 요구되는 최소 두께가 올라갑니다.
- 상한 두께 하락 — 센서가 허용하는 측정 오차가 작을수록 두께 상한선이 내려갑니다.
절연과 내습만 요구되는 사양이라면 (주)와인은 0.5–2 µm 박막 구간을 운영 범위로 둡니다[11]. 실무에서는 허용 오차 안에 드는 얇은 쪽에서 시작한 뒤, 매질 노출 시험으로 하한이 충분한지 확인합니다.
매질이 지나치게 가혹해 하한이 상한을 넘으면 창이 없습니다. 이때는 두께 조절보다 실리콘 오일 격리형 같은 패키지 구조를 검토합니다.
제조사 문서에 적힌 Parylene 옵션
압력 센서 제조사의 문서에도 Parylene은 선택 사양으로 올라 있습니다. Amphenol All Sensors의 기술 백서 WP-0014는 DLVR·DLHR·DLLR 디지털 시리즈, MLV 밀리볼트 시리즈, ELVR 시리즈에 Parylene 코팅을 제공하고 증착과 마스킹을 자사에서 한다고 적었습니다[9]. 같은 회사의 DLVR 데이터시트(DS-0300 Rev J)는 코팅이 습기를 막고 일부 가혹한 매질에서 센서를 보호하며, 적용 여부는 공장에 문의하라고 적었습니다[8].
두 문서는 옵션이 가능한 범위를 다르게 적었습니다. 백서는 풀스케일 ±1 inH₂O 센서까지 코팅했다고 쓰고 J-Lead 패키지(E1NJ)를 Parylene 옵션이 되는 패키지에 넣었습니다[9]. 데이터시트는 10 inH₂O 미만의 압력 범위와 J-Lead 패키지에는 이 옵션을 제공하지 않는다고 적었습니다[8]. 두 문서 모두 개정 날짜를 확인하지 못해 어느 쪽이 최신인지 알 수 없으므로, 특정 품번의 코팅 가능 여부는 제조사 확인이 필요합니다. 두 문서는 Parylene 종류와 두께를 적지 않았고, 백서는 두께를 마이크로미터 단위라고만 적었습니다.
Orwintech의 소형 압력 센서 Series 85 데이터시트는 주문 코드의 봉지 방식 선택지에 젤 전면 도포(1X), Parylene 박막 컨포멀 코팅(X2), ASIC 위 젤(3X), 칩 선택 젤(4X), 봉지 없음(0X)을 나란히 적고, 봉지 방식은 용도와 센서 칩에 따라 정해지며 가격이 달라진다고 밝혔습니다[10]. 이 문서에서도 Parylene 종류와 두께는 알 수 없습니다. 세 문서는 Parylene이 압력 센서의 선택 사양으로 표기된다는 사실만 보여 주며, 위에서 본 두께 설계 창이나 측정값 변화를 대신하지 않습니다.
어떤 매질까지 공개 데이터가 있는가?
산, 알칼리, 일반 유기 용제는 공개 데이터가 있지만, 냉각수, 요소수, 실제 연료, 냉매 등 자동차용 주요 유체는 공개 데이터가 없습니다.
공개 데이터가 있는 매질도 그 수치는 다이에 붙은 막이 아니라 기재에서 떼어 낸 단독 필름(Free film)의 값입니다.
제조사 기술 문헌은 Parylene N·C·D 단독 필름을 시약에 담갔을 때의 두께 변화를 제시합니다[6]. 75 °C 10 % 알칼리 용액에서 팽윤율은 0.9 % 이하였습니다. 필름은 유기 용제에서 최대 3.3 % 부풀었다가, 진공 건조 후 원래 두께로 돌아왔습니다[6].
같은 문헌에는 약 13 µm(0.5 mil) 막을 증착한 에폭시·구리·유리·강철 시편을 유기 용제에 최대 6시간 담근 결과도 있으며, 크로스컷(격자 테이프) 시험에서 박리가 없었습니다[6]. 이 문헌에 들어 있는 자동차 유체는 연료 모델인 이소옥탄·자일렌 등 탄화수소뿐입니다[6].
튀르키예 중동공과대학교(METU)의 Koydemir 연구진은 약 4 µm Parylene C 막을 25 °C 에틸렌글리콜에 24시간 담가도 부풀지 않았다고 보고했지만[3], 이 시험은 고온에서 첨가제가 섞인 실제 냉각수에 오래 닿는 조건이 아닙니다.
공개 데이터가 없는 매질은 사용 환경의 농도, 온도, 접촉 시간을 정해 시편 노출 시험을 하고, 외관과 밀착 상태를 직접 확인합니다[6].
온도 조건만으로 적용이 어려워지는 때는 언제인가?
상시 표면 온도가 Parylene의 연속 사용 온도(Continuous service temperature)를 초과할 때입니다.
Parylene C의 연속 사용 온도는 80 °C입니다[7]. 엔진 냉각수 라인처럼 상시 온도가 80 °C를 넘는 위치라면 두께와 관계없이 Parylene C는 쓸 수 없습니다.
Parylene C의 단기 사용 온도는 100 °C로 연속 사용 온도와 다르므로[7], 검토할 때는 상시 온도와 최고 온도를 구분합니다.
고온 환경에서 검토할 종류
- Parylene D — 연속 사용 온도 100 °C [7]. (주)와인에서는 사양 협의 후 검토합니다.
- Parylene HT — 연속 사용 온도 350 °C [7]. (주)와인에서는 현재 운영하지 않습니다.
- Parylene VT4 — 공급사 물성표에는 연속 사용 온도가 없습니다. Buchwalder 연구진의 질소 분위기 열분석에서는 VT4의 녹는점이 435 °C였고, 300 °C 위에서 열화가 시작됐습니다[4]. (주)와인에서는 사양 협의 후 검토합니다.
센서 다이 코팅을 의뢰할 때 무엇을 알려 주어야 하는가?
적용 여부와 두께 범위를 판단하려면 아래 다섯 항목이 필요합니다.
- 상시 온도 및 최고 온도 — 연속 노출 온도와 순간 최고 온도의 구분
- 접촉 매질 및 농도 — 화학종의 이름, 농도, 상시/간헐 접촉 여부
- 측정 방식과 허용 오차 — 코팅 막으로 인한 센서 오차 허용 한계(두께 상한선 결정)
- 다이·패키지 구조 및 제외면(마스킹) — 와이어본드, 패드, 통기 구멍 등 마스킹 구역 도면 표기
- 요구 수명과 신뢰성 조건 — 목표 신뢰성 시험 항목 및 성능 재확인 기준
| 항목 | 운영 기준 상세 내용 |
|---|---|
| 사전 확인 순서 | ① 상시 온도 → ② 접촉 매질 → ③ 측정 허용 오차 → ④ 구조·제외면 순으로 순차적 확인 |
| 두께 운영 범위 | 0.5–50 µm (단, 절연·내습 전용 박막은 0.5–2 µm 범위 적용) |
| 온도 우선 검토 | 상시 온도가 연속 사용 온도를 초과할 경우, 내열 종류(D, VT4)로 변경을 사전 협의(HT는 현재 운영하지 않음) |
| 미검증 매질 대응 | 공개 데이터가 없음을 명확히 고지하고, 시편 노출 시험으로 확인하도록 제안 |
| 측정 영향 평가 | 코팅 전후의 출력 변화는 시제품 단계에서 고객사 계측으로 확인하도록 안내 |
| 제외면(마스킹) | 코팅 제외 구역을 도면에 명시해 사전 합의 (마스킹 경계 정밀도: 약 100 µm) |
위 내용은 (주)와인 자사 운영 기준(2026년 8월)이며, 규격이 정한 절차가 아닙니다. 코팅에 따른 센서 출력 변화량은 시제품으로 직접 확인합니다.
핵심 요약
- 센서 종류별 영향 — 압력 센서는 다이어프램 강성이, 온도 센서는 응답 속도가 코팅의 영향을 받습니다. Yao 연구진은 상용 압저항 압력 센서 한 기종 7개에 Parylene C 막을 약 0.95 µm 증착한 결과 감도가 평균 0.90 % 낮아지고 오프셋이 소폭 증가했다고 보고했습니다[2]. 구조마다 결과가 다르므로 시제품으로 실측합니다.
- 두께 설계 창 — 설계 창은 매질 차단과 측정 영향이라는 두 요구가 함께 성립하는 두께 구간으로, 매질이 가혹할수록 하한이 높아지고 허용 오차가 작을수록 상한이 낮아집니다. 절연·내습 사양의 박막 운영 구간은 0.5–2 µm입니다[11]. 막이 약해지는 곳은 평탄면이 아니라 와이어본드 접합부와 다이 가장자리이므로 커버리지도 그 지점에서 확인합니다.
- 공개 데이터가 없는 매질 — 냉각수, 요소수, 실제 연료, 냉매는 공개 내화학성 표에 없어 사용 조건(농도, 온도, 접촉 시간)으로 시편 노출 시험을 합니다. 공개 표에 있는 것은 산, 알칼리, 일반 유기 용제와 연료 모델 탄화수소이고, 에틸렌글리콜은 25 °C·24시간 보고 하나뿐입니다[3, 6].
- 온도를 먼저 확인 — 상시 표면 온도가 Parylene C의 연속 사용 온도 80 °C를 넘으면 두께로 해결되지 않습니다[7]. D·VT4는 사양 협의, HT는 현재 운영하지 않습니다.
- 검토에 필요한 다섯 항목 — 상시·최고 온도, 접촉 매질과 농도, 측정 허용 오차, 다이 구조와 제외면, 요구 수명을 알려 주시면 적용 여부와 두께 범위를 판단합니다[11].
(주)와인은 고객사 센서 다이의 상시 온도와 접촉 매질, 측정 허용 오차, 제외면을 확인하고, 그에 맞는 Parylene 종류와 두께, 시편 확인 계획을 제안합니다.
이 글의 용어 풀이 (5)
미디어 저항(Media resistance) — 센서가 직접 접촉하는 액체나 기체 매질의 화학적·물리적 공격에 표면이 견디는 성질입니다.
다이어프램 — 압력을 받아 휘어지도록 얇게 만든 센서의 막 구조로, 휨 정도를 전기 신호로 변환합니다.
컨포멀리티(Conformality) — 입체 굴곡과 좁은 구석까지 기재 형상을 따라 균일한 두께로 덮이는 성질입니다.
팽윤율(Swelling ratio) — 시약을 흡수한 막이 부풀어 두께가 늘어난 비율입니다.
설계 창(Design window) — 보호 성능과 측정 정밀성이라는 두 상충 요구 조건을 동시에 만족하는 두께 운영 구간입니다.
상시·최고 온도, 접촉 매질·농도, 측정 허용 오차, 다이 구조와 제외면, 요구 수명 다섯 가지를 보내 주시면 적용 여부와 두께 범위를 회신합니다. 공개 데이터가 없는 매질이면 시편 노출 시험 절차를 함께 안내합니다. 일반 준비 사항은 부품 코팅 견적 체크리스트에 정리했습니다. 문의하기 · Parylene 코팅 샘플 테스트 보기
참고자료
번호는 성격별로 묶어 매겼습니다(학술 문헌 → 제조사 기술 문헌 → 자사 데이터). 본문의 번호가 아래 목록의 번호입니다. 이 글은 특정 센서의 출력 변화량과 자동차 유체에 대한 내성 수치를 제시하지 않습니다. 공개 출처가 없는 값이며(참고자료 2는 한 기종·약 1 µm 사례, 참고자료 3은 25 °C·24시간 침지), 해당 센서와 매질에서 직접 확인합니다.
학술 문헌
- Moni, P., Al-Obeidi, A. & Gleason, K. K., "Vapor deposition routes to conformal polymer thin films", Beilstein Journal of Nanotechnology 8, 723–735, 2017. https://doi.org/10.3762/bjnano.8.76 (Europe PMC 전문 PMC5389201, CC BY 4.0) — 스텝 커버리지와 측벽 커버리지의 정의(바닥·측벽 두께를 평탄면 두께로 나눈 값, 1이면 완전 컨포멀). 정의와 증착 기전을 다룬 리뷰 논문이며 센서 다이·와이어본드 위 두께를 측정한 연구는 아닙니다.
- Yao, J.-L., Chen, Y.-X., Qiang, W.-J., Wang, X.-Z., Wei, H., Gao, B.-H. & Yang, X., "A Simple, Low-Cost Micro-Coating Method for Accuracy Improvement and Its Application in Pressure Sensors", Sensors 19(20), 4601, 2019. https://doi.org/10.3390/s19204601 (Europe PMC 전문 PMC6832364, CC BY 4.0) — University of Science and Technology Beijing·Tsinghua University. 상용 압저항 절대압 센서 7개에 Parylene C(웨이퍼 측정 두께 0.95 ± 0.1 µm)를 증착하고 25 ± 1 °C에서 0–75 mmHg를 측정해 감도 평균 0.90 % 감소, 오프셋 소폭 증가, 비선형 오차 평균 62.54 % 감소를 보고. 두께 한 가지(약 1 µm)·한 기종·상온 측정이며, 매질 노출·온도 사이클·장기 드리프트는 시험하지 않았습니다.
- Koydemir, H. C., Külah, H. & Özgen, C., "Solvent Compatibility of Parylene C Film Layer", Journal of Microelectromechanical Systems 23(2), 298–307, 2014. https://doi.org/10.1109/JMEMS.2013.2273032 (온라인 선공개 2013-07-22) — Middle East Technical University(METU-MEMS). 실리콘에 A-174 처리 뒤 Parylene C 약 4 µm를 증착해 용매에 25 °C로 24시간 담근 전후의 단차와 표면 거칠기를 비교함. 벤젠·클로로포름·트리클로로에틸렌·톨루엔이 가장 크게 부풀고, 메탄올·2-프로판올·에틸렌글리콜·물은 팽윤을 일으키지 않음. 아세톤에 부푼 막은 24시간 공기 건조 뒤 원래 치수로 돌아옴. 25 °C·24시간·약 4 µm 막의 시험이며, 물과 첨가제가 섞인 냉각수·고온·장기 접촉은 시험하지 않았습니다.
- Buchwalder, S., Borzì, A., Diaz Leon, J. J., Bourgeois, F., Nicolier, C., Nicolay, S., Neels, A., Zywitzki, O., Hogg, A. & Burger, J., "Thermal Analysis of Parylene Thin Films for Barrier Layer Applications", Polymers 14(17), 3677, 2022. https://doi.org/10.3390/polym14173677 (Europe PMC 전문 PMC9527014, CC BY 4.0) — 3.1절(DSC, 질소, 분당 10 K, 40–470 °C): VT4 녹는점 435 °C, 300 °C 위에서 열화 시작. 3.4절: VT4는 고온 노출 뒤 차단성이 조금 떨어짐. 25 µm 단독 필름의 열분석이며, 연속 사용 온도를 시험하지 않았습니다.
- Han, X., Huang, M., Wu, Z., Gao, Y., Xia, Y., Yang, P., Fan, S., Lu, X., Yang, X., Liang, L., Su, W., Wang, L., Cui, Z., Zhao, Y., Li, Z., Zhao, L. & Jiang, Z., "Advances in high-performance MEMS pressure sensors: design, fabrication, and packaging", Microsystems & Nanoengineering 9, 156, 2023. https://doi.org/10.1038/s41378-023-00620-1 (오픈 액세스, CC BY 4.0) — Xi'an Jiaotong University·Northwest Institute of Nuclear Technology. 무연 패키지 절: 와이어본드를 드러낸 패키지는 칩과 와이어를 보호하지 못해 소비자 전자에 주로 쓰인다는 서술, 실리콘 오일 충전 패키지는 매질 적합성이 좋으나 크고 비싸며 250 °C 초과 고온에 맞지 않고 압력 전달 경로가 길어 주파수 응답이 떨어진다는 서술. MEMS 압력 센서 리뷰 논문이며, Parylene 코팅은 다루지 않습니다.
제조사 기술 문헌
- Solvent Resistance of Parylenes C, N, D, Technology Letter #10, Revised 05-85. https://vp-sci.com/wp-content/uploads/Solvent_Resistance-of-Parylenes-C-N-D.pdf — 유리판에서 떼어낸 단독 필름을 시약에 침지해 적외선으로 두께 변화를 측정함. 75 °C에서 10 % 알칼리 용액은 0.9 % 이하, 유기 용제 최대 3.3 %(자일렌, Parylene C)이며 진공 건조 후 원래 두께로 복귀. 코팅 시편은 용제 6시간 침지 뒤 크로스해치(ASTM D3002-71) 밀착 변화 없음. 냉각수·요소수·실제 연료·냉매 항목은 없습니다. 원문 면책 문구는 보증이 아니며 사용자의 확인을 위한 자료임을 밝힙니다. 재료 공급사가 발행한 이해관계 있는 1차 자료이며 1985년 개정판입니다.
- Specialty Coating Systems, SCS Parylene Properties. https://nrf.aux.eng.ufl.edu/_files/documents/176.pdf — Table 4(열 특성)의 연속 사용 온도 Parylene N 60 · C 80 · D 100 · HT 350 °C, 단기 사용 온도 N 80 · C 100 · D 120 · HT 450 °C. Table 3은 기체 투과도와 수증기 투과율. 재료 공급사가 발행한 이해관계 있는 1차 자료입니다.
- Amphenol All Sensors, DLVR Low Voltage Digital Pressure Sensor Series, DS-0300 / DCN 11279 / Rev J. https://allsensors.com/hubfs/Product-Data-Sheets/DS-0300.pdf — 1쪽 소개문은 보호용 parylene 코팅을 선택 사양으로 둔다고 적고, 5쪽 "Coating" 문단은 이 코팅이 습기를 막고 일부 가혹한 매질에서 센서를 보호하며 적용 여부는 공장에 문의하라고 적었습니다. 같은 문단이 10 inH₂O 미만의 압력 범위와 J-Lead 패키지에는 이 옵션을 제공하지 않는다고 밝혔습니다. 주문 코드 표는 글꼴이 깨져 읽지 못했고 개정 날짜도 문서에서 확인하지 못했습니다. Parylene 종류와 두께는 적혀 있지 않습니다. 제조사 자료로 이해관계가 있는 1차 자료입니다.
- Amphenol All Sensors, Pressure Point 14: Expanding MEMS Pressure Sensor Applications with Parylene, WP-0014 Rev A. https://www.tti.com/content/dam/tti-commons/supplier/all-sensors/doc/all-sensors-expanding-mems-pressure-sensors.pdf (유통사 TTI 게시본) — 3쪽은 Parylene 증착과 마스킹을 자사에서 한다고 적고, 4쪽은 DLVR·DLHR·DLLR·MLV·ELVR 시리즈의 패키지(E1NJ 포함)에 Parylene 옵션이 있다고 적었으며, 5쪽은 풀스케일 ±1 inH₂O 센서까지 코팅했다고 적었습니다(총 5쪽). 코팅이 정확도와 반복성에 미치는 영향이 작다고만 서술하고 수치는 없습니다. 개정 날짜는 없습니다. Parylene 종류는 적혀 있지 않고 두께는 마이크로미터 단위라고만 적혀 있습니다. 제조사 자료입니다.
- Orwintech, Solid State Pressure Sensor Series 85 데이터시트, 85-Series-V1P7_1610-21914-0027-E-0323. https://orwintech.com/static/pdf/85A-500D-2A12.pdf — 3쪽(총 10쪽) 주문 정보와 4쪽 "Type of Encapsulation" 표가 봉지 방식 선택지로 젤 전면 도포(1X), Parylene 박막 컨포멀 코팅(X2), ASIC 위 젤(3X), 칩 선택 젤(4X), 봉지 없음(0X)을 나열했고, 봉지 방식은 용도와 센서 칩에 따라 정해지며 센서 가격이 달라진다는 주석이 붙어 있습니다. Parylene 종류와 두께는 적혀 있지 않습니다. 제조사 사이트에 게시된 제조사 자료입니다.
자사 데이터
- (주)와인 자사 운영 기준 (2026-08) — 상시 온도·접촉 매질·측정 허용 오차·구조 및 제외면 순의 사전 확인, 두께 운영 범위 0.5–50 µm(절연·내습만 필요한 박막 0.5–2 µm), 상시 온도가 연속 사용 온도를 넘으면 등급 우선 협의(D·VT4는 사전 협의, HT는 현재 운영하지 않음), 마스킹 경계 정밀도 약 100 µm. 자사 운영 기준이며 외부 시험기관 성적서가 아닙니다. 센서 출력에 미치는 영향을 자사가 측정해 보증하지 않습니다.
