1분 요약 (Executive Summary)
- 주제 안내 — 이 글은 Parylene 내화학성 표에 실린 팽윤율의 측정 대상, 알칼리·고온 유기 용제 결과, 가역성, 부착된 막과의 차이, 사양에 쓰는 방법을 차례로 다룹니다.
- 알칼리 10 %에서도 1 % 미만 팽윤 — NaOH·NH₄OH 10 % 용액의 팽윤율은 75 °C에서도 0.9 % 이하입니다[8]. 시험 농도가 10 %뿐이라 고농도 알칼리 세정 공정은 이 표로 판단할 수 없습니다.
- 유기 용제는 최대 3.3 % 팽윤 후 회복 — 고온에서 최대 3.3 %까지 부풀지만 진공 건조하면 원래 두께로 돌아옵니다[8]. 시험 온도가 용제마다 다르므로 표의 시험 온도 칸을 함께 확인합니다.
- 가역성을 확인하지 않은 무기 시약 — 공급사 자료는 실온·75 °C 표 모두에서 가역성을 확인하지 않았고, 고농도 질산의 영향은 영구적이라고 설명합니다[8].
- 단독 필름의 값인 팽윤율 — 팽윤율은 떼어낸 단독 필름에서 측정한 값이며, 부착된 막의 성능을 나타내지 않습니다. 재결정한 막을 쓴 고농도 알칼리 연구에서는 식각액이 막보다 계면을 먼저 공격했습니다[3]. 실리콘 계열 기재에 증착한 그대로의 막은 40 % KOH 60 °C에서 5시간 만에 완전히 박리됐습니다[4].
- 후보 선별에만 쓰는 공개 표 — 공개 표는 후보를 좁히는 데만 쓰고, 합격 판정은 실제 화학종·조건의 시편 침지로 합니다. 이 표를 낸 공급사도 보증이 아니라 사용자의 확인을 위한 자료라고 밝혔습니다[8].
내화학성 표를 받으면 숫자부터 봅니다. 그런데 그 숫자가 무엇을 측정한 값인지는 표만으로는 알 수 없습니다. 팽윤율은 유리판에서 떼어낸 단독 필름을 시약에 담가 두께 변화를 측정한 값입니다. 되돌아오는지도 표만으로는 알 수 없습니다. 공급사 자료가 건조 뒤 복귀를 확인한 시약은 유기 용제뿐입니다.
Parylene(파릴렌)의 내화학성 데이터를 사양 검토에 쓰려는 개발·품질 담당자를 위해, 팽윤율의 측정 대상, 알칼리·고온 유기 용제 결과, 가역성, 부착된 막과의 차이, 사양에 쓰는 방법을 차례로 정리합니다. 산 데이터와 반도체 배기라인 적용은 반도체 공정 가스 부식에 정리했습니다.
내화학성 표의 팽윤율은 무엇을 측정한 값인가?
유리판에서 떼어낸 단독 필름의 두께 변화입니다. 공급사 자료(Technology Letter #10)의 시험에서는 이형제(Release agent)를 바른 유리판에 Parylene N·C·D를 증착했습니다. 이 막을 떼어 시약에 담그고, 담그기 전후의 두께를 적외선으로 측정했습니다[8]. 떼어낸 상태이므로 계면이 없는 조건의 값입니다. 시험 필름의 두께는 0.5–1.5 mil(약 13–38 µm)입니다. 실제 부품의 코팅은 기재에 붙어 있고, 두께도 다를 수 있습니다.
공급사 자료는 이 값의 한계도 밝힙니다. 두께 증가분은 팽윤 때문일 수도 있고, 표면을 말린 뒤 필름에 남은 용제 때문일 수도 있다고 설명합니다. 이 값을 순수한 부피 팽창으로만 볼 수 없는 이유입니다. 시험에서 원래보다 얇아진 필름은 없었습니다[8].
공급사 자료의 침지 시간은 대부분 두께가 평형에 이를 만큼 길었습니다. 시약과 온도별 결과는 아래에 정리했습니다[8].
- 유기 용제, 실온 90분 — 모든 경우에 90분이 되기 전에 두께 변화가 멈췄습니다.
- 유기 용제, 고온 120분 — 더 담가도 두께가 변하지 않았습니다.
- 무기 시약, 실온 90분 — 산화성 산만 90분 안에 평형에 이르지 않았습니다.
- 무기 시약, 75 °C 120분 — 평형 여부가 적혀 있지 않습니다.
평형을 확인한 값은 담그는 도중의 값이 아니라, 시험 시간 안에서 두께 변화가 멈춘 뒤의 값입니다.
이렇게 측정한 고온 침지 팽윤율을 시약군별 최댓값으로 모으면 0 %에서 8.2 %까지 차이가 납니다.
알칼리 10 %에서는 얼마나 부푸는가?
알칼리 10 % 용액의 팽윤율은 75 °C에서도 0.9 % 이하입니다. 공급사 자료의 무기 시약 표에는 산, 수산화나트륨 10 % 용액, 수산화암모늄 10 % 용액, 초순수가 함께 있습니다. 같은 표에서 농축 산은 75 °C에서 8 %대(변질이 섞인 값)까지 올랐지만, 알칼리는 온도를 올려도 0.9 %를 넘지 않았습니다. 아래 표에 해당 행을 옮겼습니다.
| 시약 (농도) | 실온 23 °C | 75 °C | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| N | C | D | N | C | D | |
| 수산화나트륨 10 % | 0.1 | 0.0 | 0.1 | 0.0 | 0.5 | 0.4 |
| 수산화암모늄 10 % | 0.3 | 0.2 | 0.1 | 0.4 | 0.4 | 0.9 |
| 초순수 | 0.0 | 0.0 | 0.0 | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
두 조건 모두 0.0 %인 초순수가 기준선입니다. 0.1 % 단위까지 기록한 측정에서 변화가 없었습니다. 알칼리의 75 °C 값(0.0–0.9 %)은 이 기준선보다 높은 경우도 있지만 모두 1 % 미만입니다.
주의 — 시험한 농도는 10 %뿐이라 고농도 알칼리 세정 공정은 이 표로 판단할 수 없습니다.
같은 자료에서 산은 농도에 따라 결과가 크게 달랐습니다(75 °C 최댓값: 희석 산 1.2 %, 변질이 섞인 농축 산 8.2 %). 알칼리도 농도를 올리면 결과가 달라질 수 있습니다. Lo 연구진은 20–40 % KOH 용액에서 Parylene을 식각 마스크로 썼습니다. 막 자체는 견뎠지만 식각액이 계면을 먼저 공격했습니다[3]. 이 결과는 막을 녹였다가 재결정한 시험에서 나왔으므로, 증착한 그대로의 코팅에는 적용할 수 없습니다. 증착한 그대로의 막을 시험한 결과는 뒤에서 다룹니다.
고온에서 유기 용제는 어떻게 달라지는가?
고온에서도 유기 용제의 팽윤율은 최대 3.3 %로, 실온 최대 3.0 %와 수준이 비슷합니다[8, 원문 Table I]. 고온 120분 시험은 끓는점과 75 °C 중 낮은 온도에서 진행했습니다. 이 때문에 시험 온도가 용제마다 다릅니다. 아래 표는 원문 Table II입니다.
| 용제 (계열) | 시험 온도 | N | C | D |
|---|---|---|---|---|
| 이소프로필알코올 (알코올) | 75 °C | 0.3 | 0.2 | 0.1 |
| 이소옥탄 (지방족 탄화수소) | 75 °C | 0.3 | 0.5 | 0.3 |
| 피리딘 (아민) | 75 °C | 0.4 | 0.7 | 0.7 |
| 자일렌 혼합 (방향족) | 75 °C | 2.1 | 3.3 | 1.9 |
| 트리클로로에틸렌 (염소화 지방족) | 74 °C | 0.7 | 0.9 | 0.9 |
| 클로로벤젠 (염소화 방향족) | 75 °C | 1.7 | 2.0 | 2.1 |
| o-디클로로벤젠 (염소화 방향족) | 75 °C | 0.3 | 1.4 | 0.8 |
| 트리클로로트리플루오로에탄 (불소계) | 37 °C | 0.2 | 0.3 | 0.2 |
| 아세톤 (케톤) | 56 °C | 0.4 | 0.9 | 0.4 |
| 2,4-펜탄디온 (케톤) | 75 °C | 0.7 | 1.8 | 1.6 |
시험 온도가 37 °C와 56 °C인 행은 다른 행과 같은 조건의 값이 아닙니다. 트리클로로트리플루오로에탄의 0.2–0.3 %는 37 °C에서, 아세톤의 0.4–0.9 %는 56 °C에서 나온 값입니다. 두 행의 값이 작은 것은 시험 온도가 낮았기 때문일 수도 있습니다.
공급사 자료는 실온과 고온 결과를 함께 놓고 경향을 정리했습니다. 팽윤은 방향족 용제, 특히 염소화 방향족에서 가장 크고 알코올·지방족 탄화수소·불소계 용제에서 가장 작았습니다[8]. 이 정리가 모든 조건에 들어맞는 것은 아닙니다. 실온 3.0 %는 염소화 방향족인 o-디클로로벤젠에서, 고온 3.3 %는 염소가 없는 자일렌 혼합에서 나왔습니다[8].
공급사와 무관한 독립 연구에서도 팽윤은 알코올에서 작고 일부 방향족·염소계 용제에서 컸습니다. Koydemir 연구진은 25 °C에서 Parylene C를 용제 24종에 24시간 담갔습니다. 벤젠·톨루엔(방향족)과 클로로포름·트리클로로에틸렌(염소계)에서 가장 많이 부풀었습니다. 메탄올·2-프로판올(이소프로필알코올)·에틸렌글리콜·물에서는 팽윤이 없었습니다. 자일렌과 o-디클로로벤젠은 담근 뒤 두께가 담그기 전의 1.01–1.02배로 작아, 용제별 순서까지 같지는 않습니다[7]. 측정 방법이 달라 두 자료의 수치를 직접 비교하지는 않습니다.
세정에 흔히 쓰는 이소프로필알코올은 표에서 가장 낮은 쪽(0.1–0.3 %)이지만, 표면까지 그대로라는 뜻은 아닙니다. Koydemir 연구진의 시험에서 2-프로판올은 막을 부풀리지 않았는데도, 25 °C 24시간 침지 뒤 표면 거칠기(Ra)는 37.1 % 커졌습니다[7]. 세정보다 훨씬 오래 담근 결과이므로 세정 공정에 그대로 적용하지 않습니다. 표면 상태가 중요한 부품은 실제 세정 조건의 시편으로 확인합니다.
부풀었다가 되돌아오는가?
공급사 자료는 유기 용제의 팽윤이 되돌아오는 것은 확인했지만, 무기 시약의 팽윤은 확인하지 않았습니다. 이 차이가 표를 읽는 핵심입니다.
공급사 자료의 유기 용제 시험에서는 담갔던 시편을 실온 진공에서 하룻밤 말린 뒤 두께를 다시 측정했습니다. 실온과 고온 양쪽에서 모든 경우에 두께가 원래 값으로 돌아왔습니다[8]. 공급사 자료는 이 결과를 근거로 75 °C 아래에서 유기 용제의 팽윤을 가역적이라고 결론지었습니다. 세정처럼 시약에 닿았다가 마르는 공정과 순서는 같지만, 이 시험은 실온 진공에서 하룻밤 말린 결과입니다.
주의 — 건조 시간이 짧은 공정에서는 필름에 남은 용제까지 고려해 시편으로 확인합니다.
무기 시약의 표에는 가역성 확인 결과가 없습니다. 원문의 실온 표와 75 °C 표에는 모두 "가역성은 확인하지 않았다"고 적혀 있습니다. 확인하지 않았다는 것이 되돌아오지 않는다는 뜻은 아니지만, 되돌아온다는 근거도 없습니다. 같은 팽윤율이라도 근거가 다릅니다. 유기 용제는 복귀를 확인한 값이고, 무기 시약은 확인하지 않은 값입니다.
주의 — 무기 시약 중 고농도 질산의 영향은 되돌아오지 않습니다. 원문은 이 영향을 명백히 영구적이라고 밝힙니다. 75 °C 고농도 질산에서는 Parylene N이 부서져 조각났기 때문에 표에 값이 없습니다. 뜨거운 고농도 황산에서는 술폰화가 예상된다는 설명도 있습니다. 산 데이터 전체는 반도체 공정 가스 부식에 정리했습니다.
팽윤율이 낮으면 코팅이 안전한가?
팽윤율만으로 코팅이 안전하다고 단정할 수는 없습니다. 팽윤율은 단독 필름의 값이며, 부착된 막의 성능을 나타내지 않습니다. 실제 부품에는 계면이 있습니다. 단독 필름은 고정된 곳 없이 부풀지만, 부착된 막은 기재에 고정돼 있어 두 값의 조건이 같지 않습니다.
재결정한 막을 쓴 고농도 알칼리 연구에서 식각액이 먼저 공격한 곳은 막이 아니라 계면이었습니다. 앞에서 본 Lo 연구진은 실리콘 위의 Parylene C를 질소 중 350 °C에서 2시간 녹였다가 재결정해, 그 막을 실리콘 식각 마스크로 썼습니다. 20–40 % KOH(50–70 °C)와 10–25 % TMAH(70–90 °C)에서 막 자체는 손상되지 않았습니다. 그러나 식각액이 막과 실리콘 사이 계면을 파고들어 5 µm 막에서도 가장자리부터 들뜸이 시간당 13–230 µm씩 번졌습니다[3].
두께에 따라서도 결과가 달랐습니다. 58 °C의 20 % KOH에서 9시간 식각했을 때 1 µm 막은 심하게 들떴고 5 µm 막은 양호했습니다[3].
주의 — 재결정한 막의 결과이며, 증착한 그대로의 코팅이나 회로 기판 위 막을 시험한 것은 아닙니다.
증착한 그대로의 막까지 함께 시험한 연구에서는 그 막이 모두 박리됐습니다. Charmet 연구진은 실리콘·산화규소·질화규소 위 5 µm Parylene C를 60 °C의 40 % KOH에 5시간 또는 25시간 담갔습니다. 아무 처리도 하지 않은 막과 밀착 증진제(실란)만 쓴 막은 모든 경우에 완전히 박리됐습니다. 재결정(질소 중 350 °C)을 더하면 패터닝하지 않은 막은 5시간까지 안정했습니다. 25시간에는 밀착 증진제와 함께 쓴 산화규소 시편에서만 박리가 없었습니다. 연구진은 박리 원인으로 막과 기재 사이 계면과 막 자체를 모두 통과한 KOH를 꼽았습니다. 재결정과 밀착 증진제를 함께 쓰면 밀착이 개선되고 박리가 늦어진다고도 정리했습니다[4]. 실리콘 계열 기재의 결과이며, 회로 기판 위 막은 다루지 않았습니다.
공급사 자료에는 부착된 막을 시험한 결과도 있습니다. 에폭시 G-10·구리·유리·강 시편에 Parylene을 0.5 mil(약 13 µm) 두께로 증착해 용제에 담갔습니다. 15분부터 360분까지 다섯 시점에서 크로스컷 테이프 시험으로 밀착을 판정했습니다[8]. 실온과 고온 모두 6시간까지 밀착에 변화가 없었고, 기재의 외관도 변하지 않았습니다. 이 자료는 Parylene이 시험한 용제를 효과적으로 막는 배리어라고 결론지었습니다.
공급사 시험은 6시간까지만 담갔습니다. 더 오래 담근 결과로는 시약이 다른 Chung·Kuo 연구가 있습니다. 연구진은 304 스테인리스에 10 µm Parylene C를 증착하고 60 °C의 황산 함유 황산구리 도금액에 담갔습니다. 전기화학 측정에서 용액이 막 안으로 스며드는 신호는 4시간째부터 나타났고, 금속 표면에 닿은 시점은 66–73일째였습니다[5]. 연구진은 그중 66일을 ASTM F1980의 10 °C 규칙으로 상온 약 2년으로 환산했습니다. 이 환산은 가속 계수를 가정한 값입니다.
주의 — 부착된 막도 침지가 길어지면 용액이 금속까지 닿을 수 있습니다. 그 시점은 이 연구의 조건(황산 함유 황산구리 도금액·60 °C·10 µm)을 벗어나면 알 수 없습니다.
팽윤율 표로 확인할 수 있는 것은 시약에 닿은 필름 자체의 반응까지입니다. 코팅이 부품을 지키는지는 밀착 시험·장기 침지 같은 다른 시험으로 확인합니다.
이 표를 사양에 어떻게 쓰는가?
이 표는 후보를 좁히는 데 쓰고, 합격 판정에는 쓰지 않습니다. 공급사 자료(1985년 개정판)에는 "보증이나 진술로 받아들이지 말고, 사용자의 검토·조사·확인을 위한 것"이라는 문구가 있습니다[8]. 공급사가 보증이 아니라고 밝혔으므로, 이 글도 그 값을 보증값으로 쓰지 않습니다.
낮은 값은 시험해 볼 근거이지 시험을 생략할 근거가 아닙니다. 배터리 전해질의 카보네이트 용매처럼 표에 없는 화학종이나 농도라면 더욱 그렇습니다. 1985년 자료의 시험 조건이 지금 공정과 같다고 볼 근거도 없습니다. 표의 시약 목록과 대조하고 시편 침지로 확인하는 절차는 배터리 공정 부품 코팅에 정리했습니다.
내화학성보다 온도가 먼저 한계가 되는 경우도 있습니다. Parylene C의 연속 사용 온도는 80 °C입니다[2]. 산소가 있는 환경에서 100–125 °C(리뷰마다 기준 온도가 다름)를 넘으면 열산화가 진행됩니다[1, 6].
주의 — 75 °C 팽윤율이 낮아도 상시 온도가 80 °C 근처라면 온도 여유부터 검토합니다. 온도 기준을 고르는 순서는 Parylene 내열성에 정리했습니다.
공개 표를 받으면 먼저 확인할 것은 네 가지입니다.
- 시험 온도 — 용제마다 다르므로 값을 나란히 비교하기 전에 시험 온도 칸을 봅니다[8].
- 시험 농도와 침지 시간 — 공정의 농도와 접촉 시간이 표의 조건(예: 알칼리 10 %, 실온 90분·고온 120분) 안에 드는지 대조합니다[8].
- 가역성 확인 여부 — 공급사 자료가 건조 뒤 원래 두께로 돌아오는 것을 확인한 시약은 유기 용제뿐입니다[8].
- 측정 대상 — 단독 필름의 값이므로, 부착된 막의 성능은 시편 침지로 따로 확인합니다.
(주)와인은 내화학성 요구를 받으면 아래 기준으로 검토합니다.
| 항목 | 운영 기준 |
|---|---|
| 사전 확인 | 화학종·농도·상시 온도·접촉 시간·기재 재질을 함께 받습니다 |
| 공개 표의 지위 | 후보를 좁히는 근거로 쓰고 합격 판정 근거로는 쓰지 않습니다 |
| 온도 우선 | 상시 온도가 연속 사용 온도를 넘으면 내화학성 이전에 Parylene 종류부터 협의합니다 |
| 미수록 조건 | 고농도 알칼리처럼 공개 데이터가 없는 조건은 없다고 밝힙니다 |
| 확인 방법 | 시편 침지 조건과 판정 항목(외관·밀착)을 함께 정하고, 시험은 고객 또는 외부 시험기관과 협의합니다 |
| 보증 범위 | 공개 물성값은 대표값이며 계약 보증치가 아닙니다 |
위 내용은 (주)와인 자사 운영 기준(2026년 8월)이며, 규격이 정한 절차나 외부 시험기관 성적서가 아닙니다. 자체 내화학성 시험 데이터는 보유하거나 공개하지 않습니다. 이 글의 표와 도식에 있는 팽윤율, 크로스컷 밀착 수치는 공급사 자료의 값입니다. 용제별 독립 연구, 계면 공격, 장기 침지 결과는 학술 문헌에서 옮겼습니다.
핵심 요약
- 알칼리 10 %에서도 1 % 미만 팽윤 — 75 °C 값은 0.0–0.9 %로, 초순수(실온·75 °C 모두 0.0 %)보다 높은 경우에도 1 % 미만입니다. 고농도 알칼리 데이터는 공급사 자료에 없습니다. 학술 연구에서는 실리콘 계열 기재에 증착한 그대로의 막이 40 % KOH 60 °C에서 5시간 만에 완전히 박리됐습니다[4].
- 유기 용제는 최대 3.3 % 팽윤 후 회복 — 고온 최대는 자일렌 혼합 3.3 %(Parylene C)이며, 진공 건조 뒤 모두 원래 두께로 돌아왔습니다. 공급사 자료는 방향족에서 팽윤이 크고 알코올·지방족·불소계에서 작다고 정리했습니다. 세정에 흔히 쓰는 이소프로필알코올은 75 °C에서 0.1–0.3 %입니다[8].
- 가역성을 확인하지 않은 무기 시약 — 공급사 자료는 실온·75 °C 표 모두에서 가역성을 확인하지 않았습니다. 고농도 질산은 영향이 영구적이고 75 °C에서 Parylene N이 부서져 조각났으며, 뜨거운 고농도 황산에서는 술폰화가 예상됩니다[8].
- 단독 필름의 값인 팽윤율 — 팽윤율은 떼어낸 단독 필름의 값이라 부착된 막의 성능은 따로 확인합니다. 공급사 자료의 크로스컷 시험에서는 6시간 침지까지 밀착 변화가 없었고[8], 60 °C의 황산 함유 황산구리 도금액에 오래 담근 연구에서는 66–73일째 용액이 금속에 닿았습니다[5].
- 후보 선별에만 쓰는 공개 표 — 공개 표의 낮은 값은 시험해 볼 근거이지 시험을 생략할 근거가 아닙니다. Parylene C의 연속 사용 온도가 80 °C이므로[2], 상시 온도가 그 근처라면 내화학성보다 온도가 먼저 한계가 됩니다.
(주)와인은 고객사 부품의 화학종·농도·상시 온도·접촉 시간·기재 재질을 받아, 공개 데이터로 답할 범위와 시편 침지로 확인할 범위를 나눠 제안합니다.
이 글의 용어 풀이 (5)
팽윤율(Swelling ratio) — 시약에 담근 뒤 두께가 얼마나 늘었는지를 백분율로 나타낸 값입니다. 부피 팽창 외에 필름에 남은 용제의 영향도 섞일 수 있습니다.
단독 필름(Free film) — 기재에서 떼어낸 막 자체입니다. 계면이 없어 자유롭게 부풀 수 있으므로, 부착된 막과는 조건이 다릅니다.
가역성(Reversibility) — 시약에 닿아 변한 상태가 건조 뒤 원래로 돌아오는지 여부입니다. 유기 용제에서는 두께가 되돌아왔고, 무기 시약은 가역성을 확인하지 않았습니다.
침지 — 시편을 시약에 담가 두는 시험 방식입니다. 이 글이 인용한 공급사 자료에서는 시편을 실온 90분, 고온 120분 동안 담갔으며, 유기 용제와 실온 무기 시약(산화성 산 제외)은 그 시간 안에 두께 변화가 멈췄습니다.
술폰화(Sulfonation) — 황산이 고분자 사슬에 술폰기를 붙여 성질을 바꾸는 반응입니다.
화학종·농도·상시 온도·접촉 시간·기재 재질 다섯 항목을 적어 보내 주시면, 공개 데이터로 답할 범위와 별도 확인이 필요한 범위를 나눠 회신하고, 공개 표에 없는 조건은 그 사실부터 알립니다. 문의하기 · 반도체 공정 가스 부식 보기
참고자료
번호는 성격별로 묶어 매겼고(학술 문헌 → 제조사 기술 문헌 → 자사 데이터), 나중에 더한 학술 문헌은 학술 문헌 묶음 끝에 붙였습니다. 본문의 참고자료 번호는 아래 목록의 번호와 같습니다. 이 글의 표와 도식에 있는 팽윤율, 크로스컷 밀착 수치는 참고자료 8에서 옮긴 값이며 (주)와인의 측정값이 아닙니다. 온도 한계 수치는 참고자료 1·2·6에서, 계면 공격 결과는 참고자료 3·4에서, 장기 침지 결과는 참고자료 5에서, 용제별 팽윤 경향의 독립 연구 결과는 참고자료 7에서 옮겼습니다. 시약군 묶음 도식, 알칼리 농도·온도 지도, 노출 시간 눈금은 이 글이 각 자료의 값을 모아 정리한 것입니다.
학술 문헌
Kim, B. J. & Meng, E., "Micromachining of Parylene C for bioMEMS", Polymers for Advanced Technologies 27(5), 564–576, 2016. https://doi.org/10.1002/pat.3729 (PDF 전체) — 리뷰 논문. 566쪽: Parylene C는 유리전이온도가 60–90 °C로 낮고 산소가 많은 환경에서 125 °C를 넘으면 열산화로 재료가 손실된다고 정리, 표 1의 녹는점은 290 °C. 572쪽: 장기 침지에서 Parylene–금속 층 밀착이 떨어지고 소자 수명은 며칠에서 1년 이상. 재결정 분위기는 리뷰가 진공, 참고자료 3 원문은 질소. 125 °C는 앞선 문헌을 옮긴 서술이며 직접 측정한 값이 아닙니다. 참고자료 6은 100 °C 초과로 적어 리뷰마다 기준이 다릅니다. 앞선 문헌 원문은 확인하지 않았고 회로 기판 코팅은 다루지 않았습니다.
연속 사용 온도(Parylene C 80 °C)는 Parylene 물성표에 출처와 함께 실었습니다 — 학술 단행본(Fortin, J. B. & Lu, T.-M., Chemical Vapor Deposition Polymerization, Springer, 2004. https://doi.org/10.1007/978-1-4757-3901-5)과 제조사 기술자료를 항목별로 구분해 표기했으며, 연속·단기 사용 온도 행은 제조사 자료 기준입니다.
Lo, H.-W., Kuo, W.-C., Yang, Y.-J. & Tai, Y.-C., "Recrystallized parylene as a mask for silicon chemical etching", 2008 3rd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 881–884, 2008. https://doi.org/10.1109/NEMS.2008.4484464 · 원문 PDF는 Caltech 저장소 https://authors.library.caltech.edu/records/976gp-5rp77 — 실리콘 위 Parylene C를 질소 중 350 °C에서 녹였다가 재결정한 막을 KOH·TMAH·HNA 식각 마스크로 시험. 식각액이 막은 손상시키지 않았지만 막–실리콘 계면을 공격해 들뜸이 생겼고, 5 µm 막의 들뜸 속도는 KOH 25–230 µm/h, TMAH 13–67 µm/h. 연구진은 막과 실리콘의 밀착이 화학 결합보다 기계적 밀착에 가깝다고 설명합니다. 녹였다가 재결정한 막의 결과이며, 증착한 그대로의 막이나 회로 기판 위 막을 시험하지 않았습니다.
Charmet, J., Bitterli, J., Sereda, O., Liley, M., Renaud, P. & Keppner, H., "Optimizing Parylene C Adhesion for MEMS Processes: Potassium Hydroxide Wet Etching", Journal of Microelectromechanical Systems 22(4), 855–864, 2013. https://doi.org/10.1109/JMEMS.2013.2248126 (PDF 전체, 쪽 번호는 1–10쪽으로 매긴 조기 공개판 기준) — 실리콘·산화규소·질화규소 위 Parylene C 5 µm를 처리 없음·실란·350 °C 재결정·실란+재결정으로 준비해 60 °C의 40 % KOH에 5시간 또는 25시간 담금. 처리 없음·실란만은 완전 박리, 패터닝하지 않은 재결정 막은 5시간까지 안정, 패터닝한 막은 5시간에도 박리. 실리콘 계열 기재 위 5 µm 막을 40 % KOH 60 °C 한 조건에서 관찰한 결과이며, 회로 기판·금속 위 막, 다른 화학종은 다루지 않았습니다. 5시간 시점의 막 침투 해석은 원문 안에서 일치하지 않습니다.
Chung, C.-H. & Kuo, W.-C., "Anti-corrosion application of parylene C film for stainless steel fasteners in electroplating industry", AIP Advances 14(3), 035250, 2024. https://doi.org/10.1063/5.0198113 (PDF 전체) — 304 스테인리스에 실란 전처리 후 Parylene C 10 µm를 증착해 60 °C 구리 도금액에 담그고 임피던스로 추적. 73일째 금속 표면 도달로 판정해 66일을 막 파괴 기준으로 삼고, ASTM F1980의 10 °C 규칙으로 745.8일(2.04년)로 환산. 한 시험액·한 두께·한 온도뿐이어서 상온 환산과 두께별 수명은 연구진의 추정입니다. 유리전이 온도를 넘는 시험은 예측이 부정확할 수 있다고 연구진도 적었고 회로 기판은 다루지 않았습니다. 표 III의 시점 수와 시간 칸은 설명과 맞지 않는 곳이 있습니다.
Ortigoza-Diaz, J., Scholten, K., Larson, C., Cobo, A., Hudson, T., Yoo, J., Baldwin, A., Weltman Hirschberg, A. & Meng, E., "Techniques and Considerations in the Microfabrication of Parylene C Microelectromechanical Systems", Micromachines 9(9), 422, 2018. https://doi.org/10.3390/mi9090422 (Europe PMC 전문 PMC6187609, CC BY 4.0) — 저자 소속 University of Southern California. 2.1절(Thermal Budget): 대기 중에서는 100 °C를 넘으면 산화된다는 서술. 앞선 문헌(Noh 외, Sens. Actuators B 102, 2004)을 인용한 값이며 이 논문에서 측정한 값이 아닙니다. 참고자료 1의 125 °C와 기준 온도가 다릅니다.
Koydemir, H. C., Kulah, H. & Ozgen, C., "Solvent Compatibility of Parylene C Film Layer", Journal of Microelectromechanical Systems 23(2), 298–307, 2014. https://doi.org/10.1109/JMEMS.2013.2273032 (PDF 전체) — 실리콘 위 약 4 µm Parylene C 패턴을 용제 24종에 25 °C, 24시간 담근 뒤 단차·거칠기 측정. 팽윤비는 벤젠 1.07, 클로로포름 1.06이 크고 대부분 1.01–1.05, 물·메탄올 등은 1.00. 아세톤에 담근 막은 건조하면 원래 크기로 돌아옴. 약 4 µm 막을 실리콘에 붙인 채 25 °C에서 측정했고 공급사 자료의 단독 필름 값과 측정법이 달라 수치를 직접 비교하지 않습니다. 팽윤 없는 용제의 장기 노출 가능성은 연구진의 해석이며, 고온·무기 시약·회로 기판은 다루지 않았습니다.
제조사 기술 문헌
- Solvent Resistance of Parylenes C, N, D, Technology Letter #10, Revised 05-85. https://vp-sci.com/wp-content/uploads/Solvent_Resistance-of-Parylenes-C-N-D.pdf — 유리판에서 떼어낸 0.5–1.5 mil 단독 필름을 시약에 침지(실온 90분, 고온 120분)하고 적외선으로 두께를 측정. 유기 용제는 진공 건조 후 원래 두께로 복귀, 무기 시약은 가역성 미확인. 고농도 질산의 영향은 영구적이고, 코팅 기재는 침지 뒤 크로스컷 테이프 시험에서 6시간까지 밀착 변화가 없었음. 원문 면책 문구: 보증이나 진술이 아니며 사용자의 검토·조사·확인을 위한 자료. 재료 공급사가 발행한 이해관계 있는 1차 자료이며, 1985년 개정판입니다.
자사 데이터
- (주)와인 자사 운영 기준 (2026-08) — Parylene C·N 상시 운영(D·VT4는 사양 협의, HT는 현재 운영하지 않음), 화학종·농도·상시 온도·접촉 시간·기재 재질 사전 수령, 공개 표를 후보 선별 근거로만 사용, 시편 침지 조건과 판정 항목(외관·밀착)을 함께 정하고 시험은 고객 또는 외부 시험기관과 협의. 자사 운영 기준이며 외부 시험기관 성적서가 아닙니다. 자체 내화학성 시험 데이터는 보유하거나 공개하지 않습니다.
